特許
J-GLOBAL ID：201303033852339814
電子デバイス用基板、液晶パネルおよび電子機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-205806
公開番号（公開出願番号）：特開2007-025147
特許番号：特許第4701888号
出願日： 2005年07月14日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、該基板の一方の面に、斜方蒸着法により形成され、複数の細孔を有する無機酸化物膜を含む配向膜とを有する電子デバイス用基板であって、
前記無機酸化物膜は、水酸基に少なくとも1種のアルコールを化学結合させる処理により、前記無機酸化物膜の少なくとも表面に存在する水酸基の数を低減させる水酸基低減処理が施され、
BET法で測定される前記基板の一方の面の表面積をS1[nm2]とし、BET法で測定される前記無機酸化物膜の表面積をS2[nm2]とし、前記無機酸化物膜の平均厚さをt[nm]としたとき、0.55loget≦S2/S1≦0.55loget+4.4なる関係を満足することを特徴とする電子デバイス用基板。
IPC (2件)：
G02F 1/1337 ( 200 6.01)
, C23C 14/24 ( 200 6.01)
G02F 1/133 515
, C23C 14/24 S
