特許
J-GLOBAL ID:201303034079181773

溶融シリカ粒子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-307695
公開番号(公開出願番号):特開2002-114510
特許番号:特許第4889141号
出願日: 2000年10月06日
公開日(公表日): 2002年04月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】中心口とその外周に隣接して位置する環状口を有する多重管バーナーを使用し、気化させた沸点100〜250°Cのシロキサンを上記中心口に供給するラインに酸素の混合ラインを設けて酸素を混合し、このようにして得られた、一部または全部に酸素を使用したキャリアガスと該シロキサンとの混合ガスを前記多重管バーナーの中心口に供給し、また、水素及び/又は炭化水素並びに酸素を前記多重管バーナーの環状口にそれぞれ供給して外周炎を形成することにより、該シロキサンをシリカ微粒子に変換し、更に、上記外周炎中で該シリカ微粒子を相互に融着せしめて平均粒子径を0.05〜5μmに成長させ、次いで、溶融したシリカ粒子を分散した状態で冷却することを特徴とする溶融シリカ粒子の製造方法。
IPC (2件):
C01B 33/18 ( 200 6.01) ,  C03B 20/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
C01B 33/18 Z ,  C03B 20/00 D
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献:
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