特許
J-GLOBAL ID：201303035191750612
電解めっき装置用めっき液保持部材
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 博宣
, 恩田 誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-131323
公開番号（公開出願番号）：特開2002-327299
特許番号：特許第4833434号
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 表層部分における炭化珪素粒子の表面が炭化珪素よりも水に対する濡れ性のよい物質により被覆され、該炭化珪素粒子の表面にシリカ層が形成されている多孔質炭化珪素板からなり、前記シリカ層の厚さは50nm〜200nmであり、該シリカ層が形成されている部分の多孔質炭化珪素板表面からの深さは100μm〜300μmであることを特徴とする電解めっき装置用めっき液保持部材。
IPC (4件)：
C25D 17/10 ( 200 6.01)
, C25D 7/12 ( 200 6.01)
, C25D 17/12 ( 200 6.01)
, H01L 21/288 ( 200 6.01)
C25D 17/10 Z
, C25D 7/12
, C25D 17/12 Z
, H01L 21/288 E
