特許
J-GLOBAL ID:201303035279421740

振動片、振動子、発振器、電子機器および振動片の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-059330
公開番号(公開出願番号):特開2013-197621
出願日: 2012年03月15日
公開日(公表日): 2013年09月30日
要約:
【課題】優れた振動特性を有する振動片を提供する。【解決手段】振動片は、水晶基板3と、水晶基板3に形成された導体パターンとを有している。また、水晶基板3は、振動部と、振動部の周囲に配置された薄肉部とを有している。振動部は、薄肉部から+Y’軸側に突出した第1凸部35と、-Y’軸側に突出した第2凸部37とを有し、第1凸部35の主面351の+Z’軸側の端A1は、第2凸部37の主面371に対して+Z’軸側に位置する側面373とY’軸方向に重なって位置し、第2凸部37の主面371の-Z’軸側の端A3は、第1凸部35の主面351に対して-Z’軸側に位置する側面353とY’軸方向に重なって位置している。【選択図】図4
請求項(抜粋):
基板の一方の主面側に突出している第1凸部および前記基板の一方の主面側に対して裏面側の他方の主面側に突出している第2凸部を含む振動部と、前記振動部の外縁に沿って配置され前記振動部の厚みよりも厚みが薄い薄肉部と、を含む基板を有し、 前記第1凸部は、前記第1凸部の主面に対して傾斜している第1側面と、前記第1側面と所定方向に対向し、前記第1凸部の主面に対して垂直である第2側面と、を有し、 前記第2凸部は、前記第2凸部の主面に対して垂直である第3側面と、前記第3側面と前記所定方向に対向し、前記第1凸部の主面に対して傾斜している第4側面と、を有し、 前記第2側面は、前記基板の厚み方向での平面視にて、前記第4側面に重なるように配置され、 前記第3側面は、前記基板の厚み方向での平面視にて、前記第1側面に重なるように配置されていることを特徴とする振動片。
IPC (7件):
H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03H 3/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (7件):
H03H9/19 D ,  H03H9/02 K ,  H03H3/02 B ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (29件):
5J079AA04 ,  5J079BA02 ,  5J079BA44 ,  5J079FA01 ,  5J079FA24 ,  5J079HA03 ,  5J079HA06 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG16 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11 ,  5J108NA02
引用特許:
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る