特許
J-GLOBAL ID:201103076943467099
圧電振動子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
村上 友一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-246902
公開番号(公開出願番号):特開2011-097183
出願日: 2009年10月27日
公開日(公表日): 2011年05月12日
要約:
【課題】生産性に優れ、従来よりメサ部堀量を大きくしても、CI値劣化を生じさせない圧電振動子の提供。【解決手段】圧電振動片12は、圧電素板の長辺寸法をX、厚肉部14の厚み寸法をt、厚肉部14の長辺寸法をMx、励振電極22の長辺寸法をExとし、屈曲変位時の波長をλとした時、の関係を満たし、凸部18の寸法Dxと、厚肉部14から凸部18までの寸法Sxについても所定の関係を満たす構成。【選択図】図2
請求項(抜粋):
厚み滑り振動を主振動とし、周辺部に囲まれ該周辺部よりも厚み寸法が大きい振動部を有する圧電素板と、前記圧電素板の主面に配置された励振電極とを備えた圧電振動子であって、
前記振動部の長辺と前記励振電極の長辺が共に、前記圧電素板の長辺と平行であり、
前記圧電素板の長辺寸法をX、前記振動部の厚み寸法をt、前記振動部の長辺寸法をMx、前記励振電極の長辺寸法をExとし、
前記圧電素板の長手方向に生ずる屈曲振動の波長をλとするとき、
IPC (4件):
H03H 9/19
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/22
FI (5件):
H03H9/19 D
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
, H01L41/22 Z
Fターム (13件):
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108CC08
, 5J108CC12
, 5J108DD05
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108KK01
, 5J108KK02
引用特許:
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