特許
J-GLOBAL ID：201303035307940651

中空構造体及びその製造方法

発明者：
加藤 禎明

加藤 禎明 について

, 
松坂 治

松坂 治 について


出願人/特許権者：
日立化成株式会社

日立化成株式会社 について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  酒巻 順一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-076083
公開番号（公開出願番号）：特開2013-178526
出願日： 2013年04月01日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】 感光性樹脂組成物を用いた中空構造体の製造方法を提供すること。【解決手段】 基板上に、第1の感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂組成物層を形成する工程と、上記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射し、露光部を光硬化させる工程と、上記感光性樹脂組成物層の上記露光部以外の部分を除去することにより、パターンを形成する工程と、上記感光性樹脂組成物層の上記露光部を熱硬化させ、樹脂硬化物からなるリブ部を形成する工程と、フィルム化した第2の感光性樹脂組成物を上記リブ部の上部に貼り付けることにより中空構造を形成する工程と、を有する中空構造体の製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に、第1の感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂組成物層を形成する工程と、 前記感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射し、露光部を光硬化させる工程と、 前記感光性樹脂組成物層の前記露光部以外の部分を除去することにより、パターンを形成する工程と、 前記感光性樹脂組成物層の前記露光部を熱硬化させ、樹脂硬化物からなるリブ部を形成する工程と、 フィルム化した第2の感光性樹脂組成物を前記リブ部の上部に貼り付けることにより中空構造を形成する工程と、 を有する中空構造体の製造方法。
IPC (4件)：
G03F 7/40 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 ,  C08J 5/12
FI (4件)：
G03F7/40 521 ,  H03H3/08 ,  H03H9/25 A ,  C08J5/12
Fターム (20件)：
2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096HA30 ,  4F071AA33X ,  4F071AA35X ,  4F071AF10Y ,  4F071AF45Y ,  4F071AG10 ,  4F071AG28 ,  4F071AH12 ,  4F071BC04 ,  4F071CA01 ,  4F071CB06 ,  4F071CD01 ,  5J097AA25 ,  5J097BB11 ,  5J097HA04 ,  5J097HA07 ,  5J097KK10
引用特許：
審査官引用 (7件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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