中空構造を有する成形体の製造法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：浅村皓 , 浅村肇 , 浅野裕一郎 , 安藤克則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-146560
公開番号（公開出願番号）：特開2008-299165
出願日： 2007年06月01日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：

【課題】感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィーにより、工程が簡便で、工程歩留まりが高く、高精度な中空構造を有する成形体を安価に作成する方法を確立すること。【解決手段】基板上に、波長が400nm以上の光に感光しない第1の感光性樹脂層を形成し、第1のマスクを介して波長が400nm未満の光を照射する工程、現像処理を施すこと無く、前記工程により感光処理された第1の感光性樹脂層の上に、波長が400nm以上の光に感光する固形分90重量%以上の固形又は半固形の第2の感光性樹脂層を形成し、第2のマスクを介して波長が400nm以上の光を照射する工程、前記第1及び第2の感光性樹脂層に一括で加熱処理を施す工程、及び前記第1及び第2の感光性樹脂層の未感光部を一括で現像する工程を有する、中空構造を有する成形体の製造法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に、波長が400nm以上の光に感光しない第1の感光性樹脂層を形成し、第1のマスクを介して波長が400nm未満の光を照射する工程、現像処理を施すこと無く、前記工程により感光処理された第1の感光性樹脂層の上に、波長が400nm以上の光に感光する固形分90重量%以上の固形又は半固形の第2の感光性樹脂層を形成し、第2のマスクを介して波長が400nm以上の光を照射する工程、前記第1及び第2の感光性樹脂層に一括で加熱処理を施す工程、及び前記第1及び第2の感光性樹脂層の未感光部を一括で現像する工程を有する、中空構造を有する成形体の製造法。

IPC (4件)：

G03F 7/26 , G03F 7/004 , G03F 7/38 , G03F 7/20

FI (4件)：

G03F7/26 511 , G03F7/004 512 , G03F7/38 , G03F7/20 501

Fターム (31件)：

2H025AA00 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BD23 , 2H025CA41 , 2H025CA48 , 2H025DA13 , 2H025EA08 , 2H025FA15 , 2H096AA25 , 2H096AA30 , 2H096BA01 , 2H096BA09 , 2H096CA16 , 2H096EA02 , 2H096EA14 , 2H096GA02 , 2H096HA30 , 2H096JA03 , 2H096KA02 , 2H096KA13 , 2H096KA14 , 2H097AA13 , 2H097CA12 , 2H097CA13 , 2H097FA01 , 2H097FA02 , 2H097LA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

インクジェットヘッドの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-230519 出願人：株式会社リコー
インクジェット記録ヘッドの製造方法、及びインクジェット記録ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-356785 出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (9件)

液体噴射記録ヘツド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-253815 出願人：キヤノン株式会社
インクジェットヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-272328 出願人：株式会社リコー
積層構造体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-086174 出願人：東北大学長

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