特許
J-GLOBAL ID：201303036030328410

パターン形成方法

発明者：
宮本 公明

宮本 公明 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 渡辺 望稔 ,  三和 晴子 ,  伊東 秀明 ,  三橋 史生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-048499
公開番号（公開出願番号）：特開2013-187203
出願日： 2012年03月05日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
【課題】所定の精度を維持し、かつ生産性が優れたパターン形成方法を提供する。【解決手段】本発明は、パターン形成方法に関する。パターン形成方法は、撥液性を示す凹部と親液性を示す凸部とを有する凹凸構造体上に、凹部および凸部を覆うようにして、表面が平坦な膜を形成する第1の工程と、膜を乾燥させてパターンを形成する第2の工程とを有する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
撥液性を示す凹部と親液性を示す凸部とを有する凹凸構造体上に前記凹部および前記凸部を覆うようにして、表面が平坦な膜を形成する第1の工程と、 前記膜を乾燥させてパターンを形成する第2の工程とを有することを特徴とするパターン形成方法。
IPC (6件)：
H01L 21/768 ,  H01L 21/320 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/288 ,  B05D 1/26
FI (6件)：
H01L21/88 B ,  H01L29/78 627C ,  H01L29/78 616K ,  H01L29/78 617J ,  H01L21/288 Z ,  B05D1/26 Z
Fターム (115件)：
4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075BB44X ,  4D075BB46X ,  4D075BB92X ,  4D075CA35 ,  4D075CA36 ,  4D075CA38 ,  4D075CB06 ,  4D075DA06 ,  4D075DB11 ,  4D075DB31 ,  4D075DC27 ,  4D075EA05 ,  4D075EA07 ,  4D075EA10 ,  4D075EA33 ,  4D075EB11 ,  4D075EB31 ,  4D075EC30 ,  4D075EC35 ,  4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA03 ,  4M104AA04 ,  4M104AA05 ,  4M104AA06 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104DD22 ,  4M104DD51 ,  4M104EE05 ,  4M104EE18 ,  4M104GG08 ,  4M104GG14 ,  4M104HH12 ,  4M104HH14 ,  5F033GG01 ,  5F033GG02 ,  5F033GG03 ,  5F033GG04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH15 ,  5F033HH16 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ12 ,  5F033JJ13 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ15 ,  5F033JJ16 ,  5F033JJ17 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033KK03 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ52 ,  5F033QQ54 ,  5F033RR21 ,  5F033SS21 ,  5F033VV15 ,  5F033XX01 ,  5F033XX03 ,  5F033XX33 ,  5F110AA16 ,  5F110CC03 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD25 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE42 ,  5F110EE47 ,  5F110FF27 ,  5F110FF35 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG04 ,  5F110GG05 ,  5F110GG57 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK04 ,  5F110HK32 ,  5F110HK41 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN27
引用特許：
審査官引用 (6件)
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