特許
J-GLOBAL ID：201303037383276410

有機薄膜の製造方法

発明者：
木村 信夫

木村 信夫 について

, 
藤田 佳孝

藤田 佳孝 について

, 
中本 憲史

中本 憲史 について

, 
肥高 友也

肥高 友也 について


出願人/特許権者：
日本曹達株式会社

日本曹達株式会社 について


代理人 (5件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  鈴木 三義 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-236989
公開番号（公開出願番号）：特開2013-067171
出願日： 2012年10月26日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：
【課題】速やかに成膜でき、不純物が少なく、緻密な有機薄膜を安定に複数回連続して形成可能な有機薄膜製造方法の提供。【解決手段】基板上に形成されてなる化学吸着膜であって、前記基板が結晶性を有さず、かつ、化学吸着膜が結晶性を有しており、膜を構成している分子が規則的に高密度充填しており、かつ膜の面間隔が約4.1Åであることを特徴とする化学吸着膜。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成されてなる化学吸着膜であって、前記基板が結晶性を有さず、かつ、化学吸着膜が結晶性を有しており、膜を構成している分子が規則的に高密度充填しており、かつ膜の面間隔が約4.1Åであることを特徴とする化学吸着膜。
IPC (1件)：
B32B 9/00
FI (1件)：
B32B9/00
Fターム (19件)：
4F100AH00A ,  4F100AT00B ,  4F100BA02 ,  4F100CA18A ,  4F100DC15A ,  4F100EH46 ,  4F100GB41 ,  4F100JA11A ,  4F100JA12B ,  4F100JD14A ,  4F100JL06 ,  4F100YY00A ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BB04 ,  4G075CA54 ,  4G075CA57 ,  4G075DA18
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (5件)
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