光硬化型シリコーン樹脂組成物を用いる硬化薄膜の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：牛木護
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-203602
公開番号（公開出願番号）：特開2013-063391
出願日： 2011年09月16日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：

【課題】リソグラフィー性を有し、光硬化と加熱硬化とを組み合わせて硬化させることができるシリコーン樹脂組成物を用いることにより所望の硬化薄膜を高精度で容易に形成することができる硬化薄膜の製造方法を提供する【解決手段】(A)分子中に2つ以上のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、(B)分子中にケイ素原子に結合した水素原子を2つ以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン、及び(C)光活性型触媒を含有する光硬化型シリコーン樹脂組成物を硬化させて硬化薄膜を形成する方法であって、(i)該組成物を基板上に塗布し、(ii)得られた塗膜に光を照射して半硬化状態の薄膜を得、及び(iii)該半硬化状態の薄膜を加熱して完全に硬化する工程を含み、前記の工程(ii)で照射される光のスペクトルが、300nm〜400nmの波長領域に最大ピークを有し、かつ、300nmより短い波長領域におけるいずれの波長の光においても分光放射照度が前記最大ピーク波長の光の分光放射照度の5%以下である方法。【選択図】なし。

請求項（抜粋）：

(A)一分子中に2つ以上のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、 (B)一分子中にケイ素原子に結合した水素原子を2つ以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン本組成物中のアルケニル基1モルに対しケイ素原子に結合した水素原子が0.1〜4.0モルとなる量、及び (C)光活性型触媒有効量を含有する光硬化型シリコーン樹脂組成物を硬化させて硬化薄膜を形成する方法であって、 (i)該シリコーン樹脂組成物を基板上に塗布して塗膜を得る工程、 (ii)得られた塗膜に光を照射して該塗膜を部分的に硬化させ半硬化状態の薄膜を得る工程、及び (iii)得られた半硬化状態の薄膜を加熱して完全に硬化する工程を含み、前記の工程(ii)で照射される光のスペクトルが300nm〜400nmの波長領域に最大ピークを有し、かつ、該スペクトルの300nmより短い波長領域におけるいずれの波長の光においても分光放射照度が前記最大ピーク波長の光の分光放射照度の5%以下である、こと特徴とする硬化薄膜の製造方法。

IPC (13件)：

B05D 7/24 , C08L 83/07 , C08L 83/05 , C08K 5/07 , H01L 23/29 , H01L 23/31 , G03F 7/075 , G03F 7/004 , C08G 77/50 , C09D 183/07 , C09D 183/05 , C09D 7/12 , B05D 3/06

FI (13件)：

B05D7/24 302Y , C08L83/07 , C08L83/05 , C08K5/07 , H01L23/30 F , H01L23/30 C , G03F7/075 511 , G03F7/004 501 , C08G77/50 , C09D183/07 , C09D183/05 , C09D7/12 , B05D3/06 102C

Fターム (77件)：

2H125AC00 , 2H125AM86P , 2H125AN11P , 2H125AN80P , 2H125CA12 , 2H125CB02 , 2H125CC01 , 2H125CC12 , 2H125FA05 , 4D075BB26Z , 4D075BB43X , 4D075BB43Y , 4D075BB94X , 4D075BB94Y , 4D075DC22 , 4D075EA19 , 4D075EA21 , 4D075EB43 , 4D075EB56 , 4D075EC37 , 4J002CP04X , 4J002CP14W , 4J002EE046 , 4J002GQ00 , 4J038DL041 , 4J038DL121 , 4J038JA34 , 4J038JC38 , 4J038KA04 , 4J038NA14 , 4J038NA24 , 4J038NA25 , 4J038PA17 , 4J038PA19 , 4J038PB09 , 4J246AA11 , 4J246AB15 , 4J246BA02X , 4J246BA020 , 4J246BA030 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB021 , 4J246BB14X , 4J246BB140 , 4J246BB142 , 4J246CA01U , 4J246CA01X , 4J246CA010 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA34E , 4J246CA34U , 4J246CA34X , 4J246CA340 , 4J246FA221 , 4J246FC161 , 4J246GB13 , 4J246GB33 , 4J246GC26 , 4J246GD08 , 4J246HA29 , 4M109AA01 , 4M109CA12 , 4M109CA21 , 4M109CA22 , 4M109EA10 , 4M109EA15 , 4M109EB04 , 4M109EB07 , 4M109EB08 , 4M109EB18 , 4M109EB19 , 4M109EC05 , 4M109EC11 , 4M109EC14 , 4M109EC15

引用特許：

出願人引用 (4件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-082365 出願人：住友化学株式会社
一体型照射ユニット
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-553258 出願人：モメンティブパフォーマンスマテリアルズゲーエムベーハー
光硬化性オルガノポリシロキサン組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-211097 出願人：モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社

全件表示

前のページに戻る