特許
J-GLOBAL ID：201303039888932137
マイクロメカニカル装置をマニホルドに取付ける方法、およびそれによって製造された流体制御システム。
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 剛宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-559691
特許番号：特許第5019277号
出願日： 2001年02月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 マイクロメカニカル流体制御装置を基材に取付ける方法において:
マイクロメカニカル流体制御装置と基材との間に形成されたアパーチャの回りに第一の接着剤の第一のリングを形成する工程であって、前記第一の接着剤は、前記マイクロメカニカル流体制御装置と前記基板との間に、清浄で且つ耐蝕性の第一のインターフェースを形成する工程と;
前記第一のリングの回りに第二の接着剤の第二のリングを適用する工程であって、前記第二の接着剤は、前記マイクロメカニカル流体制御装置と前記基材との間に、密封性の第二のインターフェースを形成する工程を有し、
前記第一の接着剤は水分の透過性が高く、前記第二の接着剤はガスの透過性が低く、前記第一と第二の接着剤は25ミクロン未満の厚さで硬化されることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
B81C 3/00 ( 200 6.01)
, B81B 7/02 ( 200 6.01)
