特許
J-GLOBAL ID：201303039919273080
ガスバリア性フィルムとその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (17件)：
蔵田 昌俊
, 高倉 成男
, 河野 哲
, 中村 誠
, 福原 淑弘
, 峰 隆司
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 野河 信久
, 幸長 保次郎
, 河野 直樹
, 砂川 克
, 井関 守三
, 佐藤 立志
, 岡田 貴志
, 堀内 美保子
, 竹内 将訓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-076170
公開番号（公開出願番号）：特開2013-204123
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】プラスチック基材およびドライコーティング層との密着がよく、インラインでの処理が可能な高い生産能率のガスバリア性フィルムと生産方法を提供すること。【解決手段】高周波印加電極である金属ロール電極と接地電極を配置したプラズマ処理装置構成において、電極間に、不活性ガスを圧力が0.5Pa以上50Pa未満で導入して、電極間に高密度なプラズマを発生させて、プラスチックフィルム基材表面に、プラズマ処理を施し、基材と酸化アルミニウムからなるガスバリア層間に十分な密着性能を与えることを特徴とするガスバリア性フィルムとその製造方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェブ状の基材上にグロープラズマによる表面処理層とガスバリア層とを、この順に形成したガスバリア性フィルムの製造方法であって、
基材が走行する高周波印加電極である金属ロール電極と、この金属ロール電極に対向する対向電極として前記金属ロール電極に対向する面上にS・N極一対以上の磁石を設置した金属ロール電極に沿った形状にて配置された接地電極とを備え、両電極間を結ぶ最短距離をdminとしたとき、dmin≦50mmで設置したプラズマ処理装置を用い、
前記電極間に、窒素、ヘリウム及びアルゴンから選択された1種類以上のガスを導入して、処理空間内の圧力を0.5Pa以上50Pa未満として、30kHz以上30MHz以下の高周波を、前記金属ロール電極に投入する電力(W)と金属ロールの処理部分あるいは開口部の面積(m2)の比から算出される電力密度(W/m2)と処理時間(sec)の積から求められる値をEpd値と定義した場合、Epd値が、50W・sec/m2以上、2000W・sec/m2以下となるように高周波電圧を印加することで、電極間にプラズマを発生させて前記金属ロール電極上を走行する基材表面にプラズマ表面処理層を形成する工程と、
このプラズマ表面処理層上に、ドライコーティング法により、酸化アルミニウム(AlOx)からなるガスバリア層を形成する工程と、
を具備することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。
IPC (4件)：
C23C 14/08
, B32B 9/00
, B32B 27/00
, C23C 14/02
C23C14/08 A
, B32B9/00 A
, B32B27/00 B
, C23C14/02 A
4F100AA19B
, 4F100AK42A
, 4F100AK48C
, 4F100AR00D
, 4F100BA04
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10D
, 4F100EH66B
, 4F100EJ61A
, 4F100GB23
, 4F100GB41
, 4F100GB66
, 4F100JL02
, 4F100JL12D
, 4K029AA11
, 4K029AA25
, 4K029BA44
, 4K029CA01
, 4K029DB21
, 4K029EA09
, 4K029FA05
, 4K029GA03
, 4K029JA10
, 4K029KA03
