特許
J-GLOBAL ID：201303040172535879

感光性樹脂組成物

発明者：
国松 真一

国松 真一 について

, 
西本 秀昭

西本 秀昭 について

, 
西澤 豪

西澤 豪 について


出願人/特許権者：
旭化成イーマテリアルズ株式会社

旭化成イーマテリアルズ株式会社 について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  齋藤 都子 ,  三間 俊介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-015695
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156369
出願日： 2012年01月27日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：
【課題】レジストパターンのスソ形状、解像性及び残膜率に優れる感光性樹脂組成物、並びにそれを用いたレジストパターンの形成方法及び配線板の製造方法の提供。【解決手段】感光性樹脂組成物の固形分総量を基準として、(A)アルカリ可溶性高分子:10質量%〜90質量%、(B)エチレン性不飽和結合を有する化合物:5質量%〜70質量%、及び(C)光重合開始剤:0.01質量%〜20質量%を含む感光性樹脂組成物であって、該(B)ペンタエリスリトール系のエチレン性不飽和結合を有する化合物を含む感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
感光性樹脂組成物の固形分総量を基準として、以下の成分: (A)アルカリ可溶性高分子:10質量%〜90質量%、 (B)エチレン性不飽和結合を有する化合物:5質量%〜70質量%、及び (C)光重合開始剤:0.01質量%〜20質量%、 を含む感光性樹脂組成物であって、該(B)エチレン性不飽和結合を有する化合物として、下記一般式(I):
IPC (4件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/06
FI (4件)：
G03F7/027 502 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/18 D ,  H05K3/06 H
Fターム (48件)：
2H125AC34 ,  2H125AC35 ,  2H125AC63 ,  2H125AC64 ,  2H125AD24 ,  2H125AM13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AN47P ,  2H125AN61P ,  2H125AN80P ,  2H125AN82P ,  2H125CA13 ,  2H125CB04 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD06P ,  2H125CD08P ,  2H125CD39 ,  5E339AB01 ,  5E339AB05 ,  5E339AD01 ,  5E339AD03 ,  5E339AD05 ,  5E339BC01 ,  5E339BD05 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE16 ,  5E339CF15 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04 ,  5E339GG10 ,  5E343AA12 ,  5E343AA22 ,  5E343BB21 ,  5E343BB71 ,  5E343CC62 ,  5E343DD32 ,  5E343ER16 ,  5E343FF07 ,  5E343FF16 ,  5E343GG08 ,  5E343GG20
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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