特許
J-GLOBAL ID：201303041155972986

洗浄装置

発明者：
中西 優爾

中西 優爾 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-260076
公開番号（公開出願番号）：特開2013-115234
出願日： 2011年11月29日
公開日（公表日）： 2013年06月10日
要約：
【課題】高速回転するスピンナーテーブルからフレームとともにウエーハが脱落しないようにすることを目的とする。【解決手段】ウエーハWを洗浄する洗浄装置2Aに備えるフレーム保持手段30は、フレーム4の下部4bを支持するフレーム支持部31と、フレーム4の上部4aを押さえスピンナーテーブル20の回転中心に対して等角度に配設された複数のフレーム押さえ部32とを備え、フレーム押さえ部32は、アーム部300と、上部301に形成されたフレーム4を押圧する爪部310と、下部302に形成された錘部320と、爪部310がフレーム4の上部4aを押圧するようにアーム部300を回転可能に支持する支点軸330と、を備え、錘部320にはスピンナーテーブル20の回転時に遠心力に加え揚力が生じるように翼321が形成され、フレーム押さえ部32がフレーム4を押さえてウエーハWがスピンナーテーブル20から脱落するのを防止する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
粘着テープを介してフレームに支持された板状物を洗浄する洗浄装置であって、 該板状物を保持し回転可能なスピンナーテーブルと、 該スピンナーテーブルの外周に配設され該スピンナーテーブルとともに回転するフレームを保持するフレーム保持手段と、 該スピンナーテーブルと該フレーム保持手段とを回転駆動する回転手段と、 該スピンナーテーブルに保持された板状物に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を少なくとも備え、 該フレーム保持手段は、該フレームの下部を支持するフレーム支持部と、 該フレーム支持部に支持された該フレームの上部を押さえ回転中心に対して等角度に配設された複数のフレーム押さえ部と、を備え、 該フレーム押さえ部は、アーム部と、 該アーム部の上部に形成され該フレームを押圧する爪部と、 該アーム部の下部に形成された錘部と、 該スピンナーテーブルの回転による遠心力で該錘部が外周に引っ張られ該爪部が該フレームの上部を押圧するように該アーム部を回転可能に支持する支点軸と、を備え、 該錘部は、遠心力に加え揚力が生じるように翼が形成されている洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  H01L 21/683
FI (3件)：
H01L21/304 643A ,  H01L21/304 648Z ,  H01L21/68 N
Fターム (24件)：
5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031HA12 ,  5F031HA29 ,  5F031HA59 ,  5F031HA78 ,  5F031JA04 ,  5F031JA39 ,  5F031MA23 ,  5F157AA99 ,  5F157AB02 ,  5F157AB14 ,  5F157AB16 ,  5F157BB22 ,  5F157CB15 ,  5F157CF02 ,  5F157CF18 ,  5F157CF22 ,  5F157CF32 ,  5F157CF42 ,  5F157CF60 ,  5F157CF62 ,  5F157DA21 ,  5F157DB02
引用特許：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM