基板搬送装置、基板搬送方法、基板支持部材、基板保持装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-523144
公開番号（公開出願番号）：特表2013-512552
出願日： 2010年11月29日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：

基板搬出装置(70)は、基板ステージ(20)上に載置された露光済みの基板(P)を基板ホルダ(50)内に収容された基板トレイ(90)上に載置された状態で水平面に平行な一軸方向(X軸方向)に移動させることにより、基板ホルダ(50)から搬出する。これに対し、基板搬入装置(80)は、基板ステージ(20)に搬入される未露光の基板(P)を別の基板トレイ(90)上に載置された状態で基板交換位置に待機させ、露光済みの基板(P)が基板ステージ(20)から搬出された後、その別の基板トレイ(90)を降下させることにより、未露光の基板(P)を基板ホルダ(50)上に載置する。

請求項（抜粋）：

基板を第1の経路上で搬送することにより所定の基板保持装置に搬入する搬入装置と、前記基板保持装置に保持された前記基板を前記第1の経路とは異なる第2の経路上で搬送することにより前記基板保持装置から搬出する搬出装置と、を備える基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/677 , H01L 21/683 , H01L 21/027 , G03F 7/22

FI (4件)：

H01L21/68 A , H01L21/68 N , H01L21/30 502J , G03F7/22 Z

Fターム (28件)：

2H097DB11 , 2H097GB02 , 2H097LA12 , 5F131AA03 , 5F131BA13 , 5F131BA14 , 5F131CA32 , 5F131DA05 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131DB15 , 5F131DB72 , 5F131EA27 , 5F131EB01 , 5F131EB41 , 5F131EB72 , 5F131FA13 , 5F131FA17 , 5F131FA19 , 5F131FA26 , 5F131FA33 , 5F131GA05 , 5F131GA32 , 5F131GA52 , 5F131GA55 , 5F131GA68 , 5F146CD01 , 5F146CD05

引用特許：

出願人引用 (10件)

基板の受け渡し方法、及び該方法を使用する露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-018919 出願人：株式会社ニコン
ウエハリング固定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283235 出願人：富士通株式会社, 株式会社九州富士通エレクトロニクス
特開昭62-102522

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審査官引用 (7件)

基板の受け渡し方法、及び該方法を使用する露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-018919 出願人：株式会社ニコン
ウエハリング固定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283235 出願人：富士通株式会社, 株式会社九州富士通エレクトロニクス
特開昭62-102522

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