特許
J-GLOBAL ID：201303041551896605
レーザガス圧の制御機能を備えたガスレーザ発振器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 島田 哲郎
, 三橋 真二
, 廣瀬 繁樹
, 前島 一夫
, 田原 正宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-178239
公開番号（公開出願番号）：特開2013-042000
出願日： 2011年08月17日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：
【課題】従来の制御より高速なレーザガス圧制御を可能とするレーザガス圧制御装置の提供。【解決手段】レーザ発振器10は、ガス容器12と、ガス容器12に供給すべきレーザガスのガス流量を、開度の変化により調節可能なCV14と、CV14の1次側のガス圧を検出する1次ガス圧センサ16と、CV14の2次側のガス圧を検出する2次ガス圧センサ18と、ガス容器12からガスを吸引排気する真空ポンプ20と、ガス容器12内のガス圧を制御するガス圧制御部22と、データテーブル記憶部24とを備える。データテーブル記憶部24は、CV差圧と、CV14の開度と、ガス容器12への供給ガス流量との関係を記憶した第1のデータテーブルと、CV14の2次側のガス圧と、ガス容器12からの排気ガス流量との関係を記憶した第2のテーブルデータとを記憶する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザガスを収容するガス容器と、
前記ガス容器に供給するレーザガスのガス流量を、開度調節により調節可能なコントロールバルブと、
前記コントロールバルブの1次側と2次側の圧力を検知するガス圧センサと、
前記ガス容器からレーザガスを吸引排気する真空ポンプと、
前記ガス容器内のレーザガスの圧力を制御するガス圧制御部と、を備え、
前記ガス圧制御部は、前記1次側のガス圧と前記2次側のガス圧との差圧、前記コントロールバルブの開度、及び前記ガス容器内への供給ガス流量との関係を記憶した第1のデータテーブルと、前記2次側のガス圧及び排気ガス流量の関係を記憶した第2のテーブルデータとを備え、前記2次側の圧力を検出する装置により検出された2次側のガス圧値と設定ガス圧値の差に前記ガス容器の容積の値を乗算した値を一定時間で割ることで、該一定時間後に設定ガス圧に近づくために必要なガス量変化率を求め、該ガス量変化率と前記第1及び第2のデータテーブルから前記コントロールバルブの開度を求める、ガスレーザ発振器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
5F071HH01
, 5F071HH02
, 5F071JJ05
, 5F071JJ10
