特許
J-GLOBAL ID：201003006183326575

成膜装置、基板処理装置、成膜方法及び記憶媒体

発明者：
織戸 康一

織戸 康一 について

, 
本間 学

本間 学 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-165984
公開番号（公開出願番号）：特開2010-080924
出願日： 2009年07月14日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：
【課題】真空容器内の回転テーブルに基板を回転方向に並べて載置し、また互いに反応する複数の反応ガスの処理領域をこの基板の回転方向に沿って形成し、回転テーブルを回転させてこれらの複数の処理領域に基板を順番に通過させて反応生成物の層を多数積層して薄膜を形成するにあたり、基板へのガス流を一定化して面内及び面間において膜厚が均一及び膜質が均質且つ良好な薄膜を得ること。【解決手段】夫々の反応ガスの処理領域から各々の反応ガスを排気する排気路を個別に設けると共にこれらの処理領域の間に分離領域を設けて、基板へのガス流が一定化するように、これらの排気路から排気するガス流量比及び真空容器内の圧力を調整する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
真空容器内の回転テーブル上に基板を載置して、互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順番にこの回転テーブル上の基板の表面に供給しかつこの供給サイクルを実行することにより反応生成物の層を多数積層して薄膜を形成する成膜装置において、 前記回転テーブルの回転方向に互いに離れて設けられ、前記回転テーブルにおける基板の載置領域側の面に夫々第1の反応ガス及び第2の反応ガスを供給するための第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段と、 前記第1の反応ガスが供給される第1の処理領域と前記第2の反応ガスが供給される第2の処理領域との雰囲気を分離するために、前記回転方向においてこれら処理領域の間に設けられ、分離ガス供給手段から分離ガスを供給するための分離領域と、 前記回転テーブルの回転中心から見て前記第1の処理領域とこの第1の処理領域に対して回転方向下流側に隣接する分離領域との間にその排気口が位置する第1の排気路、及び前記回転テーブルの回転中心から見て前記第2の処理領域とこの第2の処理領域に対して回転方向下流側に隣接する分離領域との間にその排気口が位置する第2の排気路と、 前記第1の排気路及び前記第2の排気路に夫々第1のバルブ及び第2のバルブを介して接続された第1の真空排気手段及び第2の真空排気手段と、 前記第1のバルブと前記第1の真空排気手段との間及び前記第2のバルブと前記第2の真空排気手段との間に夫々介設された第1の圧力検出手段及び第2の圧力検出手段と、 前記第1のバルブ及び前記第2のバルブの少なくとも一方の前記真空容器側に設けられ、当該真空容器内の圧力を検出するための処理圧力検出手段と、 前記第1の圧力検出手段、前記第2の圧力検出手段及び前記処理圧力検出手段により検出された各圧力検出値に基づいて、前記真空容器内の圧力と、前記第1の排気路及び前記第2の排気路を通流する夫々のガスの流量比と、が夫々設定された設定値となるように、前記第1のバルブ及び前記第2のバルブの開度を制御するための制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする成膜装置。
IPC (4件)：
H01L 21/31 ,  H01L 21/314 ,  H01L 21/316 ,  C23C 16/455
FI (4件)：
H01L21/31 B ,  H01L21/314 A ,  H01L21/316 X ,  C23C16/455
Fターム (49件)：
4K030AA06 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA44 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA11 ,  4K030FA10 ,  4K030GA06 ,  4K030HA01 ,  4K030KA02 ,  4K030KA23 ,  4K030KA28 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  4K030LA15 ,  5F045AA03 ,  5F045AA06 ,  5F045AB32 ,  5F045AC07 ,  5F045AC15 ,  5F045BB02 ,  5F045BB03 ,  5F045DP04 ,  5F045DP05 ,  5F045DP14 ,  5F045DP27 ,  5F045DQ12 ,  5F045EE14 ,  5F045EE17 ,  5F045EE20 ,  5F045EF03 ,  5F045EF09 ,  5F045EF13 ,  5F045EG01 ,  5F045EG05 ,  5F058BA06 ,  5F058BC02 ,  5F058BF02 ,  5F058BF04 ,  5F058BF22 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF37 ,  5F058BG01 ,  5F058BG02 ,  5F058BG03 ,  5F058BG04 ,  5F058BJ04
引用特許：
出願人引用 (9件)
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