特許
J-GLOBAL ID：201303041759261905
半導体製造装置のトレーニングシステム及びトレーニングサーバ並びに表示方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-161646
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251570
出願日： 2013年08月02日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：
【課題】 ユーザに対する半導体製造装置のトレーニングの実施を効率的に行う半導体製造装置のトレーニングシステムを提供する。【解決手段】 装置トレーニングサーバ1とユーザ端末3とを回線5を介して接続し、装置トレーニングサーバ1ではプログラム記憶手段が半導体製造装置に関するシミュレーションを行うプログラムを記憶し、条件データ受信手段がユーザ端末3によりユーザから受け付けられて回線5を介して送信される半導体製造装置に関するシミュレーションの条件データを受信し、プログラム実行手段が受信した条件データに基づいてプログラム記憶手段に記憶されたプログラムを実行し、結果データ送信手段が実行したプログラムにより行われるシミュレーションの結果データを回線5を介してユーザ端末3に対して送信する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
装置トレーニングサーバとユーザ端末とを回線を介して接続し、装置トレーニングサーバがユーザに半導体製造装置を動作させるためのトレーニングシステムであって、
前記装置トレーニングサーバは、前記ユーザ端末にユーザIDやパスワードの設定を行う画面を表示させ、
該画面上にトレーニングに関する様々なメニュー項目を表示させ、
前記表示されたメニュー項目の中から所望のメニュー項目が選択されると、当該選択したメニュー項目に関する説明などのデータが表示されるトレーニング画面を表示させ、
該トレーニング画面上に表示された所定の語句が選択されると、前記語句に関する詳細を説明する画面を表示させる半導体製造装置を動作させるためのトレーニングシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, H01L21/31 B
