特許
J-GLOBAL ID:201303042358810961

半導体装置およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 速水 進治 ,  天城 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-207739
公開番号(公開出願番号):特開2013-016850
出願日: 2012年09月21日
公開日(公表日): 2013年01月24日
要約:
【課題】複数の半導体チップが積層されてオーバハングした部分が生じる場合でも、簡易な手順および構成でオーバハングした部分の樹脂の未充填を防ぐ。【解決手段】半導体装置100は、基板102と、基板102上に搭載された第1の半導体チップ110と、第1の半導体チップ110上に第1の半導体チップ110から離間した状態で積層されるとともに、第1の半導体チップ110からオーバハングした部分を有して設けられた第2の半導体チップ120と、第1の半導体チップ110と第2の半導体チップ120との間に充填されるとともに、第2の半導体チップ120が第1の半導体チップ110からオーバハングした部分と基板102との間に充填された絶縁樹脂132と、を含む。【選択図】図10
請求項(抜粋):
基板と、 前記基板上に搭載された第1の半導体チップと、 前記第1の半導体チップ上に当該第1の半導体チップから離間した状態で積層されるとともに、前記第1の半導体チップからオーバハングした部分を有して設けられた第2の半導体チップと、 前記第1の半導体チップと前記第2の半導体チップとの間に充填されるとともに、前記第2の半導体チップが前記第1の半導体チップからオーバハングした部分と前記基板との間に充填された絶縁樹脂と、 を含む半導体装置。
IPC (3件):
H01L 25/065 ,  H01L 25/07 ,  H01L 25/18
FI (1件):
H01L25/08 Z
引用特許:
審査官引用 (5件)
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