特許
J-GLOBAL ID:201303042594218208
レーザ加工機
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山口 朔生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-149549
公開番号(公開出願番号):特開2013-018053
出願日: 2012年07月03日
公開日(公表日): 2013年01月31日
要約:
【課題】レーザ加工機を提供することを課題とする。【解決手段】チャンバーとレーザシステムと少なくとも1個の加工ステージと少なくとも1個の上部運動ステージとを含むレーザ加工機であって、レーザシステムはチャンバー内部の下方に設けられ、進行方向が重力方向と反対するレーザ光の出力に用いられる。加工ステージがチャンバー内部の上方に設けられ、対向する吸着面と連結面とを備える。且つ、吸着面は連結面の下方に位置し、加工物を吸着するために用いられる。上部運動ステージがチャンバー内部の上方に設けられ、加工ステージの連結面に対応して連結し、加工ステージを運動するために用いられる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
チャンバーと、
レーザシステムであって、前記チャンバー内部の下方に設けられ、進行方向が重力方向と反対するレーザ光の出力に用いられるレーザシステムと、
前記チャンバー内部の上方に設けられ、対向する吸着面と連結面とを備え、且つ、前記吸着面は前記連結面の下方に位置し、加工物を吸着するために用いられる少なくとも1個の加工ステージと、
前記チャンバー内部の上方に設けられ、前記少なくとも1個の加工ステージの前記連結面に対応して連結し、前記少なくとも1個の加工ステージを運動するために用いられる上部運動ステージと、
を含むことを特徴とするレーザ加工機。
IPC (4件):
B23K 26/10
, B23K 26/14
, B23K 26/00
, B23K 26/16
FI (4件):
B23K26/10
, B23K26/14 A
, B23K26/00 M
, B23K26/16
Fターム (8件):
4E068AD00
, 4E068CA01
, 4E068CA17
, 4E068CE02
, 4E068CE04
, 4E068CG01
, 4E068CG02
, 4E068CJ01
引用特許:
出願人引用 (9件)
-
光学素子加工方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-135771
出願人:キヤノン株式会社
-
レ-ザ加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-009607
出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社
-
ワーク保持台
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-045873
出願人:日本フッソ工業株式会社
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審査官引用 (9件)
-
光学素子加工方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2009-135771
出願人:キヤノン株式会社
-
レ-ザ加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-009607
出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社
-
ワーク保持台
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-045873
出願人:日本フッソ工業株式会社
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