感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、有機EL表示装置および液晶表示装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-004275
公開番号（公開出願番号）：特開2013-210607
出願日： 2013年01月15日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：

【課題】感度が高く、体積抵抗率および溶剤耐性に優れた感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】 (A)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位(a1)と、-NH-CH2-O-R(Rは炭素数1〜20のアルキル基)で表される部分構造を有する構成単位(a2)とを有する共重合体、(B)光酸発生剤、および(D)溶剤、を含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体成分、 (1)(A1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位(a1)、-NH-CH2-O-R(Rは炭素数1〜20のアルキル基)で表される部分構造を有する構成単位(a2)、および該(a2)以外の架橋基を有する構成単位(a3)を有する共重合体、 (2)(A2)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位(a1)、および-NH-CH2-O-R(Rは炭素数1〜20のアルキル基)で表される部分構造を有する構成単位(a2)を有する共重合体、ならびに(C)該(a2)以外の架橋基(c2)を有する構成単位を有する重合体、 (B)光酸発生剤、および (D)溶剤、を含有するポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , G03F 7/40 , H01L 51/50 , H05B 33/22 , H01L 21/027 , C08F 220/00

FI (7件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 503A , G03F7/40 501 , H05B33/14 A , H05B33/22 Z , H01L21/30 502R , C08F220/00

Fターム (126件)：

2H096AA27 , 2H096AA28 , 2H096BA11 , 2H096EA02 , 2H096EA04 , 2H096HA01 , 2H096HA03 , 2H125AC03 , 2H125AC23 , 2H125AC36 , 2H125AE03P , 2H125AE06P , 2H125AE08P , 2H125AE13P , 2H125AE15P , 2H125AE18P , 2H125AE22P , 2H125AF17P , 2H125AF38P , 2H125AF52P , 2H125AF70P , 2H125AH04 , 2H125AH05 , 2H125AH06 , 2H125AH07 , 2H125AH12 , 2H125AH22 , 2H125AH29 , 2H125AJ02Y , 2H125AJ04Y , 2H125AJ12Y , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ44Y , 2H125AJ48Y , 2H125AJ52X , 2H125AJ52Y , 2H125AJ53X , 2H125AJ63X , 2H125AJ63Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AJ66X , 2H125AJ66Y , 2H125AJ68Y , 2H125AJ70Y , 2H125AL03 , 2H125AL11 , 2H125AM26P , 2H125AM27P , 2H125AM86P , 2H125AN02P , 2H125AN21P , 2H125AN23P , 2H125AN25P , 2H125AN29P , 2H125AN31P , 2H125AN34P , 2H125AN36P , 2H125AN39P , 2H125AN49P , 2H125AN82P , 2H125AN86P , 2H125AN88P , 2H125BA02P , 2H125BA05P , 2H125BA09P , 2H125BA11P , 2H125BA22P , 2H125BA26P , 2H125BA28P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA24 , 2H125CB02 , 2H125CB03 , 2H125CB05 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC45 , 3K107DD90 , 3K107DD97 , 4J100AB07P , 4J100AB07R , 4J100AB07S , 4J100AJ02S , 4J100AL03P , 4J100AL03S , 4J100AL08P , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL09S , 4J100AL10R , 4J100AL75R , 4J100AM21Q , 4J100BA02P , 4J100BA02R , 4J100BA03P , 4J100BA03S , 4J100BA04P , 4J100BA04Q , 4J100BA05Q , 4J100BA06P , 4J100BA06Q , 4J100BA14S , 4J100BA15P , 4J100BA15S , 4J100BA16S , 4J100BC04P , 4J100BC04S , 4J100BC12S , 4J100BC43P , 4J100BC43S , 4J100BC53P , 4J100BC53R , 4J100BC53S , 4J100BC54R , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100JA32 , 4J100JA38 , 4J100JA44

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平4-213459
特開昭62-079444
特開昭61-186956

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審査官引用 (8件)

特開平4-213459
特開昭62-079444
特開昭61-186956

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