特許
J-GLOBAL ID：201303045134255244

波長可変干渉フィルター、光フィルターモジュール、および光分析装置

発明者：
松下 友紀

松下 友紀 について

, 
佐野 朗

佐野 朗 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-165135
公開番号（公開出願番号）：特開2013-029641
出願日： 2011年07月28日
公開日（公表日）： 2013年02月07日
要約：
【課題】温度変化に起因する反射膜間のギャップ精度の低下を防止する波長可変干渉フィルターを提供する。【解決手段】固定基板51と、固定基板51に対向し、固定基板51に対して変位可能な可動基板52と、固定基板51の可動基板52と対向する面に形成された第1反射膜54と、可動基板52に設けられ、第1反射膜54とギャップを介して対向する第2反射膜55と、固定基板51の可動基板52に対向する面に設けられた第1電極57と、可動基板52に設けられ、第1電極57と対向し正の熱膨張係数を有する第2電極58と、第2電極58に積層され、負の熱膨張係数を有する付加膜70と、を備えている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1基板と、 前記第1基板に対向し、前記第1基板に対して変位可能な第2基板と、 前記第1基板の前記第2基板と対向する面に形成された第1反射膜と、 前記第2基板に設けられ、前記第1反射膜とギャップを介して対向する第2反射膜と、 前記第1基板の前記第2基板に対向する面に設けられた第1電極と、 前記第2基板に設けられ、前記第1電極と対向し正の熱膨張係数を有する第2電極と、 前記第2電極に積層され、負の熱膨張係数を有する付加膜と、 を備えたことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (1件)：
G02B 26/00
FI (1件)：
G02B26/00
Fターム (11件)：
2H141MA22 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141ME01 ,  2H141MF04 ,  2H141MG01 ,  2H141MG09 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ12 ,  2H141MZ28
引用特許：
審査官引用 (4件)
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