特許
J-GLOBAL ID：201103023193919840

波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュール

発明者：
宮澤 清

宮澤 清 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-231220
公開番号（公開出願番号）：特開2011-081056
出願日： 2009年10月05日
公開日（公表日）： 2011年04月21日
要約：
【課題】簡単な配線構造で、接続信頼性を向上させることが可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。【解決手段】 エタロン5は、第一基板51と、第一基板51に接合される第二基板52と、これらの基板間で互いに対向して設けられる一対のミラー56,57と、第一基板51に設けられる第一電極541、および第二基板52に設けられる第二電極542を有する静電アクチュエーター54と、第一基板51の外周部に設けられ、第一電極541に接続される第一電極パッド541Bと、第一基板51の外周部に設けられ、第一電極541とは絶縁される第二電極パッド543と、を備える。そして、第一基板51および第二基板52は、導電性の接合部546,547により接合され、第二電極542および第二電極パッド543は、これらの接合部546,547を介して導通される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
透光性を有する第一基板と、 前記第一基板の一面側に対向配置され、前記第一基板に接合される透光性の第二基板と、 前記第一基板および第二基板の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラーと、 前記第一基板の前記第二基板に対向する面に設けられる第一電極、および前記第二基板において前記第一電極に対向して設けられる第二電極を有し、これらの前記第一電極および前記第二電極の間に所定の電圧を印加することで、前記一対のミラーの間の寸法を可変させる静電アクチュエーターと、 前記第一基板の外周部に形成されるとともに、前記第一電極に接続される第一電極パッドと、 前記第一基板の外周部に形成されるとともに、前記第一電極とは絶縁される第二電極パッドと、 を備え、 前記第一基板および前記第二基板は、互いに対向する面にそれぞれ接合面を備え、これらの接合面間に設けられる導電性の接合層により接合され、 前記第二電極および前記第二電極パッドは、前記接合層を介して導通される ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (3件)：
G02B 26/00 ,  G01J 3/51 ,  G02B 5/28
FI (3件)：
G02B26/00 ,  G01J3/51 ,  G02B5/28
Fターム (19件)：
2G020DA05 ,  2G020DA13 ,  2G020DA33 ,  2H048GA13 ,  2H048GA48 ,  2H048GA61 ,  2H141MA22 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141MD38 ,  2H141ME01 ,  2H141ME09 ,  2H141ME24 ,  2H141MF30 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ28
引用特許：
審査官引用 (4件)
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