特許
J-GLOBAL ID：201303045913545186

露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

発明者：
柴崎 祐一

柴崎 祐一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-160127
公開番号（公開出願番号）：特開2013-236104
出願日： 2013年08月01日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：
【課題】移動体の移動平面と直交する方向における位置情報を高精度に計測する。【解決手段】 露光装置は、ウエハWの載置領域が設けられ、光学系PLの光軸と垂直なXY平面内で互いに直交するX軸方向及びY軸方向に可動なウエハステージWSTと、XY平面と平行な方向に関するウエハステージWSTの位置情報の計測に用いられ、反射型の格子が形成されるスケール部材(39Y1、39Y2)に対してそれぞれ計測ビームを照射するとともに、X軸方向及びY軸方向の少なくとも一方に関して検出点の位置が異なる複数のセンサ(72、74、76)を有し、前記複数のセンサのうち、検出点がスケール部材の格子面内に位置するセンサによって、XY平面と直交する光軸方向(Z軸方向)に関するウエハステージWSTの位置情報を計測可能な計測装置と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光学系を介して物体をエネルギビームで露光する露光装置であって、 前記物体の載置領域が設けられ、前記光学系の光軸と垂直な所定の平面内で互いに直交する第1及び第2方向に可動な移動体と、 前記平面と平行な方向に関する前記移動体の位置情報の計測に用いられ、反射型の格子が形成されるスケール部材に対してそれぞれ計測ビームを照射するとともに、前記第1及び第2方向の少なくとも一方に関して検出点の位置が異なる複数のセンサを有し、前記複数のセンサのうち、前記検出点が前記スケール部材の格子面内に位置するセンサによって、前記平面と直交する第3方向に関する前記移動体の位置情報を計測可能な計測装置と、を備える露光装置。
IPC (1件)：
H01L 21/027
FI (2件)：
H01L21/30 526B ,  H01L21/30 515G
Fターム (9件)：
5F146BA04 ,  5F146BA05 ,  5F146BA11 ,  5F146CC01 ,  5F146CC04 ,  5F146CC05 ,  5F146DA14 ,  5F146DB05 ,  5F146DB08
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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