弾性表面波センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 大房直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-240492
公開番号（公開出願番号）：特開2013-096866
出願日： 2011年11月01日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
要約：

【課題】簡易に測定でき、かつ、測定の精度を向上できる。【解決手段】弾性表面波を伝播する圧電素子基板(10)と、電気信号と前記弾性表面波との変換を行う電極(11-1a、11-1b、11-2a、及び11-2b)と、前記弾性表面波の伝播路に配置され、検体である液体が導入される検出領域(12)と、前記検出領域に接触し、液体が浸潤する多孔性基材(13)と、前記電極が液体と接触することを防ぐ封止構造(14-1及び14-2)と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

弾性表面波を伝播する圧電素子基板と、電気信号と前記弾性表面波との変換を行う電極と、前記弾性表面波の伝播路に配置され、検体である液体が導入される検出領域と、前記検出領域に接触し、液体が浸潤する多孔性基材と、前記電極が液体と接触することを防ぐ封止構造と、を備えることを特徴とする弾性表面波センサ。

IPC (5件)：

G01N 29/02 , G01N 29/00 , G01N 29/24 , H03H 9/25 , H03H 9/145

FI (6件)：

G01N29/02 , G01N29/18 , G01N29/20 , G01N29/24 , H03H9/25 Z , H03H9/145 D

Fターム (19件)：

2G047AA04 , 2G047AD19 , 2G047BC02 , 2G047BC03 , 2G047BC15 , 2G047CB03 , 2G047EA10 , 2G047EA12 , 2G047GB21 , 2G047GB32 , 2G047GB36 , 5J097AA20 , 5J097BB02 , 5J097DD19 , 5J097EE07 , 5J097JJ02 , 5J097KK09 , 5J097LL03 , 5J097LL04

引用特許：

審査官引用 (13件)

薄膜及び薄膜の製造方法およびその薄膜を用いた化学センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-345768 出願人：キヤノン株式会社
物質検出装置及び携帯電話機
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-186901 出願人：株式会社船井電機新応用技術研究所, 船井電機株式会社
表面弾性波センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-592285 出願人：マイクロテクノロジー・センター・マネージメント・リミテッド

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