薄膜及び薄膜の製造方法およびその薄膜を用いた化学センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：宮崎昭夫 , 石橋政幸 , 岩田慎一 , 緒方雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-345768
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147556
出願日： 2005年11月30日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】本発明は、化学センサの感応膜として、検出する化学物質に適した材料の薄膜の表面積を増加させることを目的としている。【解決手段】本発明は、化学センサの感応膜として用いる薄膜を、微粒子と感応膜材料を混合する工程と、前記微粒子と前記感応膜材料との混合物を薄膜に形成する工程と、前記薄膜を乾燥する工程と、その後、少なくとも前記薄膜の表面に露出する前記微粒子を除去する工程とを有することを特徴とする化学センサ用の薄膜の製造方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも微粒子と化学物質を吸着する感応膜材料とを混合する工程と、前記微粒子と前記感応膜材料との混合物を薄膜に形成する工程と、前記薄膜を乾燥する工程と、その後、少なくとも前記薄膜の表面に露出する前記微粒子を除去する工程とを有することを特徴とする化学センサ用の薄膜の製造方法。

IPC (1件)：

G01N 5/02

FI (1件)：

G01N5/02 A

引用特許：

出願人引用 (7件)

化学センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-233310 出願人：三菱電機株式会社, 高井治, 杉村博之, 呉雲影
特許第3646165号
はっ水性被膜、及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-177046 出願人：名古屋大学長

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