レーザ装置の故障診断システム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人エビス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-086325
公開番号（公開出願番号）：特開2013-141029
出願日： 2013年04月17日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：

【課題】エラーが発生したレーザ装置を早急に復旧し、またモジュール交換の労力及びコストを低減する。【解決手段】故障診断時に所定のレーザ発振を行うことでエラー状態を再現し、そのレーザ発振の動作結果を用いることによって被検査モジュールの故障診断をする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のモジュールで構成され、発振用レーザチャンバを有する発振用レーザと増幅用レーザチャンバを有する増幅用レーザとからなり、前記発振用レーザチャンバから出力されたレーザ光が前記増幅用レーザチャンバ内を通過するタイミングに同期させて当該増幅用レーザチャンバ内のレーザガスを放電励起させて、充電電圧にて充電したエネルギーを用いてレーザ光を出力するレーザ装置の故障診断をするレーザ装置の故障診断システムにおいて、故障診断の際にレーザ発振を行い、当該レーザ発振の動作結果を用いることで前記レーザ装置の被診断モジュールを診断するものであって、レーザ装置に発生した異常に応じた故障診断を行うものであり、前記レーザ装置でエネルギー関連エラーが発生した場合に、前記発振用レーザと前記増幅用レーザの同期の異常に関するエラーが発生しているか否かのエラー判断処理、前記レーザ装置の出力エネルギーEと充電電圧Vとの比率としてのパラメータdV/dEの異常に関するエラーが発生しているか否かのエラー判断処理、前記レーザ装置の出力エネルギーの安定性の異常に関するエラーが発生しているか否かのエラー判断処理、前記レーザ装置の出力エネルギーの低下の異常に関するエラーが発生しているか否かのエラー判断処理、の順番で各エラー判断処理を順次行い、エラーが発生していると判断された場合には、発生したエラーに対応づけられたモジュールを被診断モジュールとして、当該被診断モジュールについて故障診断処理を行うことを特徴とするレーザ装置の故障診断システム。

IPC (1件)：

H01S 3/00

FI (1件)：

H01S3/00 G

Fターム (12件)：

5F172AD06 , 5F172DD04 , 5F172EE22 , 5F172NN23 , 5F172NN27 , 5F172NP03 , 5F172NP13 , 5F172NP16 , 5F172NQ04 , 5F172XX01 , 5F172ZA03 , 5F172ZZ02

引用特許：

出願人引用 (7件)

光学系診断装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-144384 出願人：住友重機械工業株式会社
パルスレーザ診断システム及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-075153 出願人：ラムダ・フィジーク・ゲゼルシャフト・ツァ・ヘルシュテルンク・フォン・ラーゼルン・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
特開平2-101781

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