特許
J-GLOBAL ID：201303048855799767

バイト切削装置

発明者：
松田 智人

松田 智人 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 松本 昂 ,  大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-023758
公開番号（公開出願番号）：特開2013-162000
出願日： 2012年02月07日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：
【課題】 被加工物の加工品質の悪化を引き起こす過度な磨耗や欠け等の異常が切刃に生じたことを検出可能なバイト切削装置を提供することである。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に装着され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切刃を含むバイトホイールとを有するバイト切削手段と、を備えたバイト切削装置であって、該バイト切削手段で切削された被加工物の上面を撮像し撮像画像を形成する撮像手段と、該撮像手段で形成された該撮像画像に基づいて該バイト切削手段の異常を検出する異常検出部を有する制御手段と、を具備したことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に装着され該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切刃を含むバイトホイールとを有するバイト切削手段と、を備えたバイト切削装置であって、 該バイト切削手段で切削された被加工物の上面を撮像し撮像画像を形成する撮像手段と、 該撮像手段で形成された該撮像画像に基づいて該バイト切削手段の異常を検出する異常検出部を有する制御手段と、 を具備したことを特徴とするバイト切削装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 ,  B23Q 17/09 ,  B23Q 17/24 ,  B23D 5/02
FI (4件)：
H01L21/304 601Z ,  B23Q17/09 C ,  B23Q17/24 A ,  B23D5/02
Fターム (13件)：
3C029DD04 ,  3C029FF01 ,  3C050AB07 ,  3C050AD00 ,  5F057AA37 ,  5F057AA53 ,  5F057BA26 ,  5F057CA11 ,  5F057DA14 ,  5F057FA46 ,  5F057GA11 ,  5F057GB02 ,  5F057GB17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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