塗布装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人サンクレスト国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-054677
公開番号（公開出願番号）：特開2013-191604
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：

【課題】搬送される基板に対して塗布が行われる塗布装置において、簡単な構成によって、センサによるノズルの幅方向両端部における高さ位置の検出精度を高める。【解決手段】基板Wを水平な搬送方向に搬送する搬送機構部2と、幅方向に長くかつ搬送される基板Wに対向するノズル30を有している塗布機構部3と、水平面に対するノズル30の姿勢を調整するためにノズル30の幅方向両端部35における高さ位置を検出するセンサ7とを備えている。搬送機構部2は、搬送方向に延びているレール21と、このレール21に沿って移動するベース部材23と、ベース部材23に搭載され基板Wを搬送する際に基板Wの幅方向両端部Eを保持する吸着機構25とを有している。センサ7は、吸着機構25と共にベース部材23に搭載されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を水平な搬送方向に搬送する搬送機構部と、前記搬送方向に直交する水平な幅方向に長くかつ搬送される基板に対して高さ方向の隙間をあけて対向するノズル、及び、このノズルを高さ方向に昇降させる昇降駆動部を有し、当該基板に対して当該ノズルから塗布液を吐出する塗布機構部と、水平面に対する前記ノズルの姿勢を調整するために当該ノズルの幅方向両端部における高さ位置を検出するセンサと、を備え、前記搬送機構部は、搬送する基板の幅方向両側に設置され前記搬送方向に延びているレールと、前記レールに沿って移動するベース部材と、前記ベース部材に搭載され前記基板を搬送する際に当該基板の幅方向両端部を保持する保持部と、を有し、前記センサは、前記保持部と共に前記ベース部材に搭載されていることを特徴とする塗布装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , B05C 11/00 , B05C 13/02 , B05C 5/02 , B65G 51/03

FI (5件)：

H01L21/30 564Z , B05C11/00 , B05C13/02 , B05C5/02 , B65G51/03 C

Fターム (14件)：

4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB02 , 4F041BA22 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042AA10 , 4F042BA08 , 4F042BA25 , 4F042DF10 , 4F042DF16 , 4F042DH09 , 5F146JA02 , 5F146JA27

引用特許：

出願人引用 (10件)

塗布方法及び塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-320007 出願人：東京エレクトロン株式会社
非接触移動式テーブルコータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-401921 出願人：中外炉工業株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-118720 出願人：オリンパス株式会社

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審査官引用 (11件)

塗布方法及び塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-320007 出願人：東京エレクトロン株式会社
非接触移動式テーブルコータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-401921 出願人：中外炉工業株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-118720 出願人：オリンパス株式会社

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