特許
J-GLOBAL ID：201303050812971498
ガスセンサ用のセンサ素子の製造方法、電気的特性検査方法、および前処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-076391
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205316
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】素子特性検査に先立って行う電極の安定化を従来よりも短時間でかつより確実に行えるセンサ素子の製造方法を提供する。【解決手段】酸素イオン伝導性固体電解質層と、酸素イオン伝導性固体電解質層の表面に形成された第1の電極と、酸素イオン伝導性固体電解質層の内部に設けた空所に形成され、前記所定のガス成分を還元可能な第2の電極とを有する電気化学的ポンプセルを含んで構成される、被測定ガス中の所定のガス成分の濃度を測定するガスセンサ用のセンサ素子に対し、電気的特性の検査に先立つ前処理として、第1の電極と第2の電極との間に外部電源によって電圧を印加し、第2の電極に付着したガス成分を分解除去する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
被測定ガス中の所定のガス成分の濃度を測定するガスセンサ用のセンサ素子の製造方法であって、
前記センサ素子が、
酸素イオン伝導性固体電解質層と、
前記酸素イオン伝導性固体電解質層の表面に形成された第1の電極と、
前記酸素イオン伝導性固体電解質層の内部に設けた空所に形成された第2の電極と、
を有する電気化学的ポンプセルを含んで構成されるものであり、
酸素イオン伝導性固体電解質であるセラミックスを主成分とするグリーンシートに導電性ペーストからなる配線パターンを印刷形成する印刷工程と、
前記印刷工程を経た複数のグリーンシートを積層し一体化する積層工程と、
前記積層工程によって得られた積層体から複数の素子体を切り出す切断工程と、
前記切断工程によって切り出された素子体を焼成する焼成工程と、
前記焼成工程を経た素子体を還元雰囲気で加熱するエージング工程と、
前記エージング工程を経た素子体に備わる前記第1の電極と前記第2の電極との間に、外部電源によって電圧を印加することによって、前記第2の電極に付着した前記エージング工程の雰囲気ガスを分解除去する分解除去工程と、
前記分解除去工程を経た素子体の電気的特性を検査する検査工程と、
を含むことを特徴とするガスセンサ用のセンサ素子の製造方法。
IPC (3件)：
G01N 27/416
, G01N 27/41
, G01N 27/419
G01N27/46 331
, G01N27/46 325J
, G01N27/46 327J
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
