特許
J-GLOBAL ID：201303053058843177

エッチング方法、およびこれに用いられるエッチング液

発明者：
水谷 篤史

水谷 篤史 について

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留場 恒光

留場 恒光 について

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高橋 和敬

高橋 和敬 について

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稲葉 正

稲葉 正 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 飯田 敏三 ,  宮前 尚祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-013310
公開番号（公開出願番号）：特開2013-151726
出願日： 2012年01月25日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：
【課題】UBM膜に代表される基材のチタン化合物を、的確にかつ高速で除去し、一方でアルミニウム等の腐食を抑制ないし防止することができるエッチング液及びこれを用いたエッチング方法を提供する。【解決手段】フッ素イオン、窒素を含む構成単位を2つ以上有する含窒素化合物、および水を含み、pHが5以下に調整されたエッチング液を基材に適用して、当該基材のチタン化合物をエッチングするエッチング方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フッ素イオン、窒素を含む構成単位を2つ以上有する含窒素化合物、および水を含み、pHが5以下に調整されたエッチング液を基材に適用して、当該基材のチタン化合物をエッチングするエッチング方法。
IPC (3件)：
C23F 1/26 ,  H01L 21/306 ,  H05K 3/06
FI (3件)：
C23F1/26 ,  H01L21/306 F ,  H05K3/06 M
Fターム (19件)：
4K057WA13 ,  4K057WB08 ,  4K057WB11 ,  4K057WE07 ,  4K057WE30 ,  4K057WF06 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  4K057WG06 ,  4K057WG08 ,  4K057WM03 ,  4K057WM04 ,  4K057WN01 ,  5E339AB05 ,  5E339BC03 ,  5E339BE13 ,  5E339BE17 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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