特許
J-GLOBAL ID:201303053653860093
光集積回路用ハイブリッドレーザー光源
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-008107
公開番号(公開出願番号):特開2013-149980
出願日: 2013年01月21日
公開日(公表日): 2013年08月01日
要約:
【課題】光集積回路用ハイブリッドレーザー光源を提供する。【解決手段】本発明は、光導波路が設けられた基板上に少なくとも一側が光導波路と光学的に連結されるように形成される反射カップリング層と、反射カップリング層上に設けられた光モード整列層と、光モード整列層上に設けられ、光を発生させる活性層及びその上に反射層を備える上部構造と、を備える光集積回路の光源に関する。また本発明は、基板上に光導波路と、少なくとも一側が光導波路と光学的に連結された反射カップリング層と、を形成する段階と、反射カップリング層上に光モード整列層を形成する段階と、光を発生させる活性層及びその上に反射層を備える上部構造を、ウェーハボンディングやチップボンディングによって光モード整列層に結合させる段階とを含む光集積回路の光源を製造する方法にも関する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光導波路が設けられた基板上に少なくとも一側が前記光導波路と光学的に連結されるように形成される反射カップリング層と、
前記反射カップリング層上に設けられた光モード整列層と、
前記光モード整列層上に設けられ、光を発生させる活性層及びその上に反射層を備える上部構造と、を備える光集積回路の光源。
IPC (4件):
H01S 5/14
, H01S 5/183
, G02B 6/42
, G02B 6/122
FI (4件):
H01S5/14
, H01S5/183
, G02B6/42
, G02B6/12 B
Fターム (40件):
2H137AB12
, 2H137AC04
, 2H137BA34
, 2H137BA53
, 2H137BB03
, 2H137BB26
, 2H137BC25
, 2H137CA34
, 2H147AB04
, 2H147AB09
, 2H147AB27
, 2H147BB02
, 2H147BB06
, 2H147BB08
, 2H147BC01
, 2H147BC05
, 2H147BG04
, 2H147CA13
, 2H147CB06
, 2H147CD10
, 2H147EA02B
, 2H147EA12C
, 2H147EA13A
, 2H147EA13C
, 2H147EA14B
, 2H147EA15B
, 2H147EA25B
, 2H147FD20
, 5F173AB34
, 5F173AC03
, 5F173AC54
, 5F173AH04
, 5F173AH12
, 5F173AQ03
, 5F173AR52
, 5F173MF03
, 5F173MF15
, 5F173MF25
, 5F173SA09
, 5F173SC02
引用特許:
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