特許
J-GLOBAL ID：201303056214770907
太陽電池セル検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鹿島 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-193465
公開番号（公開出願番号）：特開2013-053973
出願日： 2011年09月06日
公開日（公表日）： 2013年03月21日
要約：
【課題】 反射画像と透過画像とを同時に同じ位置で撮影することができる太陽電池セル検査装置を提供する。【解決手段】 半導体ウエハ2の第一面に向かって可視光を照射する第一照射部4と、半導体ウエハ2で反射した可視光を受光することにより、半導体ウエハ2の反射画像を取得する第一撮像部5と、半導体ウエハ2の第一面に対向する第二面に向かって赤外光を照射する第二照射部6と、半導体ウエハ2を透過した赤外光を受光することにより、半導体ウエハ2の透過画像を取得する第二撮像部7と、反射画像及び透過画像に基づいて、半導体ウエハ2に欠陥があるか否かを判定する判定部21dとを備える太陽電池セル検査装置1であって、第一撮像部5及び第二撮像部7との間に配置されるビームスプリッタ11を備え、ビームスプリッタ11は、設定波長未満の光を第一撮像部5に導くとともに、設定波長以上の光を第二撮像部7に導くことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
平板形状の半導体ウエハの第一面に向かって可視光を照射する第一照射部と、
前記半導体ウエハで反射した可視光を受光することにより、前記半導体ウエハの反射画像を取得する第一撮像部と、
前記半導体ウエハの第一面に対向する前記半導体ウエハの第二面に向かって赤外光を照射する第二照射部と、
前記半導体ウエハを透過した赤外光を受光することにより、前記半導体ウエハの透過画像を取得する第二撮像部と、
前記反射画像及び透過画像に基づいて、前記半導体ウエハに欠陥があるか否かを判定する判定部とを備える太陽電池セル検査装置であって、
前記第一撮像部及び前記第二撮像部との間に配置されるビームスプリッタを備え、
前記ビームスプリッタは、設定波長未満の光を第一撮像部に導くとともに、設定波長以上の光を第二撮像部に導くことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956
, H01L 21/66
, H01L 31/04
G01N21/956 Z
, H01L21/66 J
, H01L31/04 K
, H01L21/66 L
2G051AA51
, 2G051AB02
, 2G051BA01
, 2G051BA06
, 2G051BA08
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051CC12
, 4M106AA01
, 4M106BA04
, 4M106BA08
, 4M106CA38
, 4M106CA46
, 4M106DB30
, 5F151AA02
, 5F151AA03
, 5F151BA11
, 5F151FA06
, 5F151FA14
, 5F151FA15
, 5F151GA04
, 5F151GA14
, 5F151KA09
