特許
J-GLOBAL ID：201303056370161007

液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子

発明者：
米村 貴幸

米村 貴幸 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-277609
公開番号（公開出願番号）：特開2013-128075
出願日： 2011年12月19日
公開日（公表日）： 2013年06月27日
要約：
【課題】環境負荷が小さく、且つ、クラックが抑制され、湿度依存性が小さい圧電体層を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室12と、第1電極60、第1電極60上に設けられた圧電体層70及び圧電体層70上に設けられた第2電極80を備えた圧電素子300と、を具備し、圧電体層70は、ビスマス、ランタン、鉄及びマンガンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり(100)面に優先配向している第1圧電体層71と、第1圧電体層71上に設けられ、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり(100)面に優先配向している第2圧電体層72とを有する液体噴射ヘッドとする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
ノズル開口に連通する圧力発生室と、第1電極、前記第1電極上に設けられた圧電体層及び前記圧電体層上に設けられた第2電極を備えた圧電素子と、を具備し、 前記圧電体層は、ビスマス、ランタン、鉄及びマンガンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり(100)面に優先配向している第1圧電体層と、前記第1圧電体層上に設けられ、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり(100)面に優先配向している第2圧電体層と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (6件)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (5件)：
H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z
Fターム (11件)：
2C057AF65 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AP14 ,  2C057AP32 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (3件)

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