特許
J-GLOBAL ID:201303057827400556
高結合で低損失な圧電境界波デバイスおよび関連する方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森下 賢樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-087275
公開番号(公開出願番号):特開2013-225853
出願日: 2013年04月18日
公開日(公表日): 2013年10月31日
要約:
【課題】無線通信用の無線周波数フィルタリング用途用の、高い電気機械結合と低スプリアス応答と所望の周波数温度特性とを有するPBAWデバイスとも呼ばれる圧電境界波デバイスを提供する。【解決手段】PBAWデバイスは、基板12と、該基板表面22に接続された複数の電極30を含む第1共振器14と、複数の電極30Aを含む第2共振器16と、を含み、基板と第1及び第2共振器上に、誘電体オーバーコート24を配置し、第1及び第2共振器の電極は、共振器の電極周期28及び28Aに少なくとも部分的に基づいた電極幅32及び32Aを有しており、第1及び第2共振器の電極周期28及び28Aに少なくとも部分的に基づいた電極幅32及び32Aを選択することによって、PBAWデバイスの通過帯域のスプリアスモードは抑制される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板表面に接続され、周期を有する複数の電極を備え、複数の電極の内のある電極が、その電極の周期に少なくとも部分的に基づいた幅を有する共振器と、
前記基板および前記共振器に接続されてこれらの上部に配置され、せん断波速度を有する誘電体オーバーコートと、
前記誘電体オーバーコートの表面に接続され、前誘電体オーバーコートのせん断波速度より大きなせん断波速度を有する付加的な材料と、
を備えたことを特徴とする圧電境界波(PBAW)デバイス。
IPC (3件):
H03H 9/145
, H03H 9/25
, H03H 3/08
FI (4件):
H03H9/145 C
, H03H9/145 Z
, H03H9/25 C
, H03H3/08
Fターム (15件):
5J097AA14
, 5J097BB15
, 5J097CC05
, 5J097DD04
, 5J097DD07
, 5J097DD29
, 5J097FF05
, 5J097GG04
, 5J097GG07
, 5J097HA02
, 5J097HA03
, 5J097KK04
, 5J097KK05
, 5J097KK06
, 5J097KK09
引用特許: