特許

J-GLOBAL ID：201303061315018177

ランプ、ランプを用いた熱処理装置

発明者： 清水 正裕
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-058266
公開番号（公開出願番号）：特開2002-261037
特許番号：特許第4828031号
出願日： 2001年03月02日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被処理体に所定の熱処理を施すために発光する発光部と、 前記発光部と接続し外部より電力が供給される電極部と、 前記発光部と前記電極部の間を離間させる中間部と、 前記発光部から射出される光を前記被処理体に反射するリフレクタとを有するランプであって、 前記電極部と前記中間部と前記リフレクタの外周部分には、第1のねじ山が設けられ、 前記ランプは、前記ランプを支持及び冷却し、前記第1のねじ山と係合可能な第2のねじ山が設けられたランプ保持部に着脱可能に取り付けられるランプ。

IPC (4件)：

H01L 21/26 ( 200 6.01) ,  H01K 7/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/31 ( 200 6.01) ,  H05B 3/00 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/26 J ,  H01K 7/00 E ,  H01L 21/31 E ,  H05B 3/00 345

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-373629   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• クロック発生回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-282321   出願人：日本電気エンジニアリング株式会社