特許
J-GLOBAL ID:201303063334542971
レーザ光源装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-166866
公開番号(公開出願番号):特開2013-030672
出願日: 2011年07月29日
公開日(公表日): 2013年02月07日
要約:
【課題】低コスト化及び小型化を図りながら、レーザ光の波長及び光強度を安定化できるレーザ光源装置を提供する。【解決手段】レーザ光源装置1は、電流が供給されることで励起光L1を出射する励起用光源10と、励起用光源10からの励起光L1を受けてレーザ光L2を生成する共振器20と、レーザ光源装置1から出射されるレーザ光の光強度を可変とする光学素子81を有する光強度変更装置80と、当該レーザ光源装置1から出射されるレーザ光の光強度を検出する光強度検出装置70と、励起用光源10及び光学素子81を制御する制御装置60とを備える。制御装置60は、光強度検出装置70の検出結果に基づいて、励起用光源10に供給する電流値を制御する光源制御手段と、光強度検出装置70の検出結果に基づいて、光学素子81を制御する素子制御手段とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
電流が供給されることで励起光を出射する励起用光源と、前記励起用光源からの励起光を受けてレーザ光を生成する共振器とを備えたレーザ光源装置であって、
当該レーザ光源装置から出射されるレーザ光の光強度を可変とする光学素子を有する光強度変更装置と、
当該レーザ光源装置から出射されるレーザ光の光強度を検出する光強度検出装置と、
前記励起用光源及び前記光学素子を制御する制御装置とを備え、
前記制御装置は、
前記光強度検出装置の検出結果に基づいて、前記励起用光源に供給する電流値を制御する光源制御手段と、
前記光強度検出装置の検出結果に基づいて、前記光学素子を制御する素子制御手段とを備える
ことを特徴とするレーザ光源装置。
IPC (3件):
H01S 3/137
, H01S 3/10
, H01S 3/136
FI (3件):
H01S3/137
, H01S3/10 A
, H01S3/136
Fターム (17件):
5F172AE09
, 5F172AF02
, 5F172EE13
, 5F172NN02
, 5F172NN23
, 5F172NN24
, 5F172NP03
, 5F172NP12
, 5F172NQ06
, 5F172NQ09
, 5F172NQ12
, 5F172NQ30
, 5F172NQ43
, 5F172NQ62
, 5F172NR03
, 5F172NR05
, 5F172NR12
引用特許:
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