特許
J-GLOBAL ID：200903055704051861
レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-314712
公開番号（公開出願番号）：特開2008-130848
出願日： 2006年11月21日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】レーザの発光強度を一定に保ちレーザ光の発振周波数を安定化したレーザ周波数安定化装置、レーザ周波数安定化方法を提供する。【解決手段】レーザ光を発生させる励起用半導体レーザ11と、励起用半導体レーザ11に励起用レーザ光を発生させる励起用レーザ駆動電流生成部46と、共振器長を変化させるアクチュエータ25と、アクチュエータ25を駆動させるアクチュエータ駆動部44と、光出力信号を検出する光検出部38と、光出力信号の微分信号を検出する三次微分用ロックインアンプ42と、励起用半導体レーザ11を加熱或いは冷却する励起用レーザ加熱冷却部13と、加熱冷却部により励起用半導体レーザ11の温度を一定に制御する励起用レーザ温度制御部47と、光出力信号に基づき励起用半導体レーザ11の駆動電流を制御する励起用レーザ駆動電流制御部45と、微分信号に基づき共振器長を制御するアクチュエータ制御部43とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
対向する位置に一対のミラーを配置してなる共振器により励起光を共振させてレーザ光を生成し、該レーザ光を吸収セルに照射して得られる光出力信号に含まれる飽和吸収線に基づき前記共振器長を変化させ前記レーザ光の発振周波数を固定し、安定化するレーザ周波数安定化装置であって、
前記レーザ光を励起する励起用レーザ発生部と、
当該励起用レーザ発生部に駆動電流を流して励起用レーザ光を発生させる励起用レーザ駆動部と、
前記共振器長を変化させるアクチュエータと、
当該アクチュエータを駆動させるアクチュエータ駆動部と、
前記光出力信号を検出する光検出部と、
前記光出力信号の微分信号を検出する微分信号検出部と、
前記励起用レーザ発生部を加熱或いは冷却する励起用レーザ加熱冷却部と、
前記励起用レーザ加熱冷却部により励起用レーザ発生部の温度を一定に制御する励起用レーザ温度制御部と、
前記光出力信号に基づき前記励起用レーザ駆動部を制御する励起用レーザ制御部と、
前記微分信号に基づき前記アクチュエータ駆動部を制御するアクチュエータ制御部と
を備えることを特徴とするレーザ周波数安定化装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
5F172AE09
, 5F172AF02
, 5F172EE13
, 5F172NN24
, 5F172NP03
, 5F172NP04
, 5F172NQ17
, 5F172NQ43
, 5F172NQ47
, 5F172NQ48
, 5F172NQ62
, 5F172NS19
, 5F172ZA01
, 5F172ZZ04
, 5F172ZZ20
出願人引用 (3件)
審査官引用 (8件)
全件表示
引用文献：
前のページに戻る
