特許
J-GLOBAL ID:201303065267693997
流体コントローラ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
萼 経夫
, 宮崎 嘉夫
, 中村 壽夫
, 小野塚 薫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-141471
公開番号(公開出願番号):特開2001-322556
特許番号:特許第4725695号
出願日: 2001年05月11日
公開日(公表日): 2001年11月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】 加圧流体源(11)から流体圧作動装置(19)への流体の流れを制御するように作動可能な流体コントローラ(17)であって、該流体コントローラ(17)は、前記加圧流体源(11)に接続する入口ポート(15)と、前記流体圧作動装置(19)に接続する第1制御流体ポート(21)及び第2制御流体ポート(23)とを形成するハウジング手段(29)と、該ハウジング手段(29)内に配置されて、中立位置及び少なくとも一つの作動位置を形成する制御バルブ手段(31、33)とを含んでおり、また、前記制御バルブ手段(31、33)は、前記ハウジング手段と協同して、前記入口ポート(15)から前記第1制御流体ポート(21)へ流体接続すると共に流体アクチュエータ手段(43)を含む主流体通路(53)を形成し、また、前記流体アクチュエータ手段(43)は、前記制御バルブ手段(31、33)の作動位置において、前記主流体通路(53)を通る流体の流量にほぼ比例して前記制御バルブ手段(33)を追従運動させると共に、追従運動を提供する回転可能な計量手段を含んでいる、流体コントローラ(17)において、
前記流体入口ポート(15)と前記流体アクチュエータ手段(43)との間で前記主流体通路(53)と直列に切換バルブ手段(41、73)を配置して、該切換バルブ手段の第一位置(R)で、前記主流体通路(53)を通る流れを許容し、かつ、
前記切換バルブ手段(41、73)の第二位置(W)では、前記流体アクチュエータ手段(43)を通る流れをブロックして、前記流体アクチュエータ手段(43)をバイパスさせて、前記制御バルブ手段(31、33)の追従運動を阻止するように作動可能であり、
また、前記流体アクチュエータ手段(43)は、内歯リング部材(45)とこの中に偏心的に配置された外歯星形部材(47)とからなり、前記回転可能な計量手段を構成し、
前記切換バルブ手段(41、73)は、前記制御バルブ部材(31、33)と、前記流体アクチュエータ手段(43)のリング部材(45)及び前記星形部材(47)との間に配置されている、ことを特徴とする流体コントローラ。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許: