特許
J-GLOBAL ID：201303065328770736
顕微鏡及び検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大山 健次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-048949
公開番号（公開出願番号）：特開2013-167857
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：
【課題】開口数の大きな対物レンズを用いることができ、試料の内部構造による欠陥を高分解能で検査できる顕微鏡及び検査装置を実現する。【解決手段】直線偏光した照明光を発生する光源装置(20a〜20c)を用い、光源装置から出射した照明光を偏波面保存ファイバ(10a〜10d)を介してP偏光した照明光として試料(1)の表面に向けて投射する。試料表面に対する照明光の入射角は試料に固有のブリュースター角に設定する。P偏光した照明光がブリュースター角に等しい入射角で試料表面に入射すると、表面反射率は零であるため、表面反射のない照明光学系が構成される。さらに、シリコン材料のブリュースター角は75°と比較的大きい角度であるため、対物レンズに対する空間的な制約が緩和され、開口数の大きな対物レンズを用いて散乱光を集光することが可能になる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
直線偏光した光ビームを発生する光源装置と、
光源装置に光学的に結合され、光源装置から出射した光ビームを試料表面の照明エリアに向けてP偏光した照明ビームとして投射する偏波面保存ファイバと、
試料から発生した散乱光を集光する対物レンズと、
対物レンズにより集光された散乱光を受光する光検出手段とを有し、
前記偏波面保存ファイバは、試料表面に対してブリュースター角にほぼ等しい入射角でP偏光した照明ビームを投射することを特徴とする顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2G051AA51
, 2G051AB06
, 2G051BA11
, 2G051BB01
, 2G051BB05
, 2G051BB09
, 2G051BB17
, 2G051CA04
, 2G051CB05
, 2G051DA07
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 2H052AA01
, 2H052AC06
, 2H052AC26
, 2H052AC33
, 2H052AF14
, 2H052AF25
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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