光学像検出方法および外観検査装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-164332
公開番号（公開出願番号）：特開2000-352697
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 CMPウェハ等の外観検査において、欠陥検出上雑音となる薄膜干渉による明るさむらを低減し、高感度検査を実現すること。また、高解像度化を目的としたDUVレーザー光により画像検出をする場合においても、欠陥検出上雑音となるスペックル干渉を低減して、高感度検査を実現すること。【解決手段】被検査物体を落射照明して反射・回折した光のうち被検査物体に対してP偏光成分の反射・回折光を透過する偏光素子と、ブリュースター角付近の光成分を透過する空間フィルタとを備え、偏光素子と空間フィルタを透過した光で光学像を形成する。さらに、DUVレーザー光により画像検出をする場合、光ファイバー束に異なる角度で光を伝搬させることによって、空間的コヒーレンスを低下させる。

請求項（抜粋）：

被検査物体を落射照明して反射・回折した光のうち被検査物体に対してP偏光成分の反射・回折光を透過する偏光素子と、ブリュースター角付近の光成分のみを透過する空間フィルタとを備え、前記偏光素子と前記空間フィルタを透過した光で光学像を形成し、この光学像をイメージセンサで検出することを特徴とする光学像検出方法。

IPC (6件)：

G02B 27/46 , G01N 21/956 , G02B 5/30 , G02B 27/28 , G06T 1/00 , H01L 21/66

FI (7件)：

G02B 27/46 , G01N 21/956 A , G02B 5/30 , G02B 27/28 Z , H01L 21/66 J , G06F 15/64 D , G06F 15/64 320 C

Fターム (48件)：

2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051BA05 , 2G051BA10 , 2G051BB03 , 2G051BB05 , 2G051BB07 , 2G051BB11 , 2G051BB17 , 2G051BB20 , 2G051CB01 , 2G051CC11 , 2G051DA08 , 2H049BA02 , 2H049BA43 , 2H049BB03 , 2H049BB06 , 2H049BC23 , 2H099AA11 , 2H099BA09 , 2H099CA11 , 2H099DA01 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106BA05 , 4M106BA06 , 4M106BA07 , 4M106CA38 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB01 , 4M106DB02 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB08 , 4M106DB11 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB14 , 4M106DB18 , 4M106DJ01 , 4M106DJ02 , 4M106DJ03 , 4M106DJ04 , 5B047AA12 , 5B047BC07 , 5B047BC08

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭60-142236
基板外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-158126 出願人：オリンパス光学工業株式会社
欠陥評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-090594 出願人：三井金属鉱業株式会社

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