特許

J-GLOBAL ID：201303066037035407

基板処理装置、基板移載方法及び半導体装置の製造方法並びに状態検知プログラム

発明者： 川崎 潤一 ,  安彦 一
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-014548
公開番号（公開出願番号）：特開2013-214723
出願日： 2013年01月29日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：

【課題】保持部材が装着された基板保持具に基板が保持された場合でも、前記保持部材の異常及び前記基板の異常の発生を事前に検知する基板処理装置、基板移載方法及び半導体装置の製造方法並びに状態検知プログラムを提供する。【解決手段】基板2を載置する保持部材を装着して基板2を保持する基板保持具7と、複数枚又は一枚の基板2を搬送する様に構成された基板搬送部17と、基板保持具7に装着された前記保持部材の状態を検知する検知部41と、検知部41により取得された前記保持部材の状態を示すデータと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となるマスターデータとを比較して前記保持部材自体の状態を判定する判定部47と、判定部47の判定結果に応じて基板搬送部17を制御する搬送制御部49とを具備する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板を載置する保持部材を装着した基板保持具と、複数枚又は一枚の基板を搬送する様に構成された基板搬送部と、前記基板保持具に装着された前記保持部材の状態を検知する検知部と、前記検知部により取得された前記保持部材の状態を示すデータと予め正常な状態の前記保持部材を検知して取得した基準となるマスターデータとを比較して前記保持部材自体の状態を判定する判定部と、前記判定部の判定結果に応じて前記基板搬送部を制御する搬送制御部とを具備する基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/44

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/31 E ,  C23C16/44 F

Fターム (68件)：

4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030GA06 ,  4K030GA13 ,  4K030HA13 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  5F045AA20 ,  5F045AB32 ,  5F045BB08 ,  5F045BB15 ,  5F045BB20 ,  5F045DP19 ,  5F045DQ05 ,  5F045EB08 ,  5F045EM02 ,  5F045EM09 ,  5F045EM10 ,  5F045EN04 ,  5F045EN05 ,  5F045EN06 ,  5F045GB15 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131BA17 ,  5F131BA22 ,  5F131BA24 ,  5F131CA54 ,  5F131DA05 ,  5F131DA08 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DA43 ,  5F131DB02 ,  5F131DB03 ,  5F131DB43 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DD03 ,  5F131DD22 ,  5F131DD43 ,  5F131DD44 ,  5F131DD52 ,  5F131DD62 ,  5F131DD94 ,  5F131EC02 ,  5F131EC15 ,  5F131FA34 ,  5F131FA35 ,  5F131GA14 ,  5F131GB02 ,  5F131GB12 ,  5F131HA29 ,  5F131JA08 ,  5F131JA28 ,  5F131KA15 ,  5F131KA43 ,  5F131KA54 ,  5F131KA72 ,  5F131KB03 ,  5F131KB04 ,  5F131KB32 ,  5F131KB45 ,  5F131KB53 ,  5F131KB58

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理装置及び基板処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-207633   出願人：株式会社日立国際電気
• 熱処理装置及び熱処理方法並びに記憶媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-222708   出願人：東京エレクトロン株式会社