特許
J-GLOBAL ID：201003062911798052
熱処理装置及び熱処理方法並びに記憶媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-222708
公開番号（公開出願番号）：特開2010-056469
出願日： 2008年08月29日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：
【課題】複数の基板が棚状に保持される基板保持具に対して保持アームにより基板の移載を行うときに、この保持アームと基板との接触等を防止すること。【解決手段】前記基板保持具(ウエハボート3)が熱の影響を受けていない状態のときに、前記搬送基体5を前記ウエハボート3に対して相対的に昇降させることにより取得した正常時のリング部材38の高さ位置と、前記熱処理前のウエハWを前記ウエハボート3に移載する前に、前記搬送基体5を前記ウエハボート3に対して相対的に昇降させることにより取得した対応する前記リング部材38の高さ位置との差分を求め、この差分と閾値との比較に基づいてウエハ搬送機構4により前記ウエハボート3に対してウエハWの受け渡しを否かを判断する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用いて、複数の基板を基板保持具に棚状に保持させ、当該基板保持具を熱処理炉内に搬入して前記基板に対して熱処理を行う縦型熱処理装置において、
前記基板保持具に対する前記基板搬送手段の相対的な高さ位置を検出する高さ位置検出部と、
この高さ位置検出部で検出された高さ位置に基づいて制御され、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させる駆動部と、
前記基板搬送手段に設けられ、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させたときに、当該基板保持具の各段に搭載される基板、又は各基板に対して夫々特定の関係がある特定部位を各々検出するための特定部位検出部と、
この特定部位検出部が前記特定部位を検出したときに、前記高さ位置検出部で検出された高さ位置を読み取る手段と、
前記基板保持具が熱の影響を受けていない状態で、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させることにより取得した正常時における各基板又は各特定部位の高さ位置と、縦型熱処理装置の運転時に、前記基板搬送手段を前記基板保持具に対して相対的に昇降させることにより取得した対応する各基板又は各特定部位の高さ位置との差分を求める差分検出手段と、
この差分と閾値とを比較してその比較結果に基づいて前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行うか否かを判断する判断手段と、
この判断手段により基板の受け渡しを行わないと判断したときに、前記基板搬送手段による前記受け渡しを禁止する手段とを備えたことを特徴とする縦型熱処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677
, B65G 49/07
, H01L 21/22
, H01L 21/324
H01L21/68 A
, B65G49/07 E
, H01L21/22 511J
, H01L21/324 S
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA12
, 5F031GA03
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031HA61
, 5F031JA06
, 5F031JA25
, 5F031MA30
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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