特許

J-GLOBAL ID：201303067643142916

酸化物超伝導薄膜

発明者： 木場 信一郎 ,  伊豫 彰
出願人/特許権者： 独立行政法人国立高等専門学校機構 ,  独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 吉永 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-241738
公開番号（公開出願番号）：特開2013-095648
出願日： 2011年11月02日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
要約：

【課題】有毒な重金属を含まず、高いTcを有するBa-Ca-Cu-O-F系酸化物超伝導体の薄膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】Ba2Can-1CunO2n(O1-xFx)2(ただし、nは2≦n≦5の整数、xは0<x<1の数)からなる酸化物超伝導薄膜10であって、SrTiO3又はMgOの単結晶基板17の(100)面31、(010)面又は(001)面のうちのいずれかの面上に形成された酸化物超電導薄膜。SrTiO3又はMgOの単結晶基板の(100)面、(010)面又は(001)面のうちのいずれかの面上にBa2Can-1CunO2n(O1-xFx)2(ただし、nは2≦n≦5の整数、xは0<x<1の数)からなる酸化物超伝導薄膜を、パルスレーザーデポジション法により成膜する酸化物超伝導薄膜の製造方法であって、前記単結晶基板の基板温度が700°C〜770°Cで成膜する成膜工程を含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

Ba2Can-1CunO2n(O1-xFx)2(ただし、nは2≦n≦5の整数、xは0<x<1の数)からなる酸化物超伝導薄膜であって、 SrTiO3又はMgOの単結晶基板の(100)面、(010)面又は(001)面のうちのいずれかの面上に形成されたことを特徴とする酸化物超電導薄膜。

IPC (5件)：

C01G 3/04 ,  H01L 39/24 ,  H01B 12/06 ,  H01B 13/00 ,  C01G 1/00

FI (5件)：

C01G3/04 ,  H01L39/24 B ,  H01B12/06 ,  H01B13/00 565D ,  C01G1/00 S

Fターム (14件)：

4G047JA03 ,  4G047JC10 ,  4G047KE02 ,  4M113BA01 ,  4M113BA04 ,  4M113BA29 ,  4M113CA34 ,  5G321AA05 ,  5G321BA07 ,  5G321CA06 ,  5G321CA21 ,  5G321CA24 ,  5G321CA27 ,  5G321DB37

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 酸化物超伝導薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-065969   出願人：独立行政法人国立高等専門学校機構
• 特開平3-112813
  
• 特開平1-188420
  
• 特開平1-095419
  
• 超電導体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-225521   出願人：東レ株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• "Simplest nontoxic double-layered cuprate Ba2CaCu2O4(O,F)2 superconductor with a transition temperat