特許

J-GLOBAL ID：201303067742809183

放電容器用の閉塞端部

発明者： 松橋 亮 ,  赤坂 洋 ,  小平 吉三 ,  関口 敦 ,  松井 尚子
出願人/特許権者： キヤノンアネルバ株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-137798
公開番号（公開出願番号）：特開2013-239446
出願日： 2013年07月01日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
要約：

【課題】放電容器に発生するプラズマからのダメージを低減し、放電容器の交換周期を長期化する。【解決手段】処理空間を区画する処理室2と、一端が処理室2の内部に臨んで開口され、他端が閉塞された放電容器3と、放電容器3の周囲に配置され、誘導電場を発生させ減圧下の放電容器3の内部にプラズマを生成するアンテナ4と、放電容器3の周囲に配置され、放電容器3の内部に発散磁場を形成する電磁石9と、を備えるプラズマ処理装置1であって、放電容器3の閉塞端部に、処理室側へ向かって突出した突出部15が形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理空間を区画する処理室と、一端に前記処理室の内部に臨んで開口した開口部と他端に閉塞した閉塞端部とを有する筒体からなる放電容器と、前記放電容器の周囲に配置され、誘導電場を発生させ減圧下の前記放電容器の内部にプラズマを生成するアンテナと、前記放電容器の周囲に配置され、前記放電容器の内部に発散磁場を形成する磁石と、を備えたプラズマ処理装置に用いられる、前記放電容器用の前記閉塞端部であって、 前記閉塞端部は、前記開口部側へ向かって突出した突出部を有することを特徴とする放電容器用の閉塞端部。

IPC (2件)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/306

FI (2件)：

H05H1/46 L ,  H01L21/302 101C

Fターム (4件)：

5F004AA06 ,  5F004BA08 ,  5F004BB13 ,  5F004BB29

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-067792   出願人：堀池靖浩, 株式会社神戸製鋼所
• プラズマ処理方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-155869   出願人：株式会社東芝
• 固体廃棄物処理装置および処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-118881   出願人：富士電機株式会社
• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-193150   出願人：アネルバ株式会社