発光装置の製造装置、及び発光装置の作製方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-122791
公開番号（公開出願番号）：特開2013-175486
出願日： 2013年06月11日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
要約：

【課題】低コストで簡便なインクジェット法による有機薄膜を形成する発光装置の製造装置、及び当該工程を有する発光装置の作製方法を提供する。【解決手段】大気圧よりも低い圧力下で、赤色、緑色、青色の発光体組成物を含む溶液を、各電極に向けて塗布する際、電極を加熱する。溶媒の揮発を促進させることができる。上記塗布手段、加熱手段、不活性気体が導入された容器等を有する製造装置であって、容器には不活性気体が導入されている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

大気圧よりも低い圧力下で、赤色の発光体組成物を含む溶液を、第1の電極に向けて塗布する第1の手段と、大気圧よりも低い圧力下で、緑色の発光体組成物を含む溶液を、第2の電極に向けて塗布する第2の手段と、大気圧よりも低い圧力下で、青色の発光体組成物を含む溶液を、第3の電極に向けて塗布する第3の手段と、前記第1の電極、前記第2の電極、及び前記第3の電極を加熱する手段と、前記赤色の発光体組成物を含む溶液を装備する第1の容器と、前記緑色の発光体組成物を含む溶液を装備する第2の容器と、前記青色の発光体組成物を含む溶液を装備する第3の容器と、を有し、前記第1の容器は、前記第1の手段と接続され、前記第2の容器は、前記第2の手段と接続され、前記第3の容器は、前記第3の手段と接続され、前記第1の容器は、前記第1の容器の上側と接続された第1の導入管を介して、不活性気体が導入され、前記第2の容器は、前記第2の容器の上側と接続された第2の導入管を介して、不活性気体が導入され、前記第3の容器は、前記第3の容器の上側と接続された第3の導入管を介して、不活性気体が導入されていることを特徴とする発光装置の製造装置。

IPC (3件)：

H05B 33/10 , H01L 51/50 , H05B 33/12

FI (3件)：

H05B33/10 , H05B33/14 A , H05B33/12 B

Fターム (8件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC45 , 3K107DD87 , 3K107FF16 , 3K107GG06 , 3K107GG28 , 3K107GG35

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-021837
特開昭61-217256
有機EL素子の膜形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-017524 出願人：トヨタ自動車株式会社

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