弾性表面波センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 大房直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-240493
公開番号（公開出願番号）：特開2013-096867
出願日： 2011年11月01日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
要約：

【課題】製造コストを削減できる弾性表面波センサを提供する。【解決手段】弾性表面波を伝播する圧電素子10と、電気信号と表面弾性波との変換を行う電極11と、前記圧電素子10に接触し、液体が浸潤する多孔性基材13と、を備える。前記電極11は、2対の電極対であって、前記多孔性基材13は、薄膜12を介して前記圧電素子10に接触し、前記多孔性基材13に接続され、前記各電極11に接する部分が疎水性基材からなる【選択図】図1

請求項（抜粋）：

弾性表面波を伝播する圧電素子と、電気信号と表面弾性波との変換を行う電極と、前記圧電素子に接触し、液体が浸潤する多孔性基材と、を備えることを特徴とする弾性表面波センサ。

IPC (1件)：

G01N 29/02

FI (1件)：

G01N29/02

Fターム (5件)：

2G047AA01 , 2G047CB03 , 2G047GF08 , 2G047GG28 , 2G047GG29

引用特許：

審査官引用 (13件)

薄膜及び薄膜の製造方法およびその薄膜を用いた化学センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-345768 出願人：キヤノン株式会社
物質検出装置及び携帯電話機
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-186901 出願人：株式会社船井電機新応用技術研究所, 船井電機株式会社
表面弾性波センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-592285 出願人：マイクロテクノロジー・センター・マネージメント・リミテッド

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