特許
J-GLOBAL ID：201303072099733356

基板処理システム

発明者：
屋敷 佳代子

屋敷 佳代子 について

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清水 英人

清水 英人 について

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越巻 寿朗

越巻 寿朗 について

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浅井 一秀

浅井 一秀 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


代理人 (1件)： 特許業務法人アイ・ピー・エス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-183705
公開番号（公開出願番号）：特開2013-045949
出願日： 2011年08月25日
公開日（公表日）： 2013年03月04日
要約：
【課題】作業効率の低下を防止する基板処理システムを提供する。【解決手段】基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置とからなる基板処理システムであって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板処理を実行する基板処理装置と、 前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、 前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置と からなる基板処理システムであって、 前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段と を有する基板処理システム。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/677
FI (2件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/68 A
Fターム (25件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA11 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA61 ,  5F031HA63 ,  5F031HA67 ,  5F031MA30 ,  5F031PA08 ,  5F031PA09 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)
  • 基板処理システム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-097646   出願人：株式会社日立国際電気
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-205108   出願人：株式会社日立国際電気

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