特許
J-GLOBAL ID：201303072303178251
脆性材料基板のブレイク方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鹿島 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-006520
公開番号（公開出願番号）：特開2013-144421
出願日： 2012年01月16日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
要約：
【課題】突部が形成された脆性材料基板を、突部を破損することなくブレイクする方法を提供する。【解決手段】 基板W表面から突出する突部13が格子状に形成された脆性材料基板Wを、基板W表面の隣接する突部13の間に形成されたスクライブ溝Sに沿って当該基板Wの裏面側からブレイクバー22で押圧することによりブレイクするブレイク方法であって、各突部13の位置に対応する格子状の凹部15が形成された弾性シート16を用いて、各突部13を凹部15に埋まるように被せ、弾性シート16が支持手段21に接するようにして基板Wを支持手段21上に載置し、基板Wの裏面側からブレイクバー22を押圧してブレイクする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板表面から突出する突部が格子状に形成された脆性材料基板を、前記基板表面の隣接する突部の間に形成されたスクライブ溝に沿って当該基板の裏面側からブレイクバーで押圧することによりブレイクするブレイク方法であって、
前記各突部の位置に対応する格子状の凹部が形成された弾性シートを用いて、前記各突部を当該凹部に埋まるように被せ、
前記弾性シートが支持手段に接するようにして前記基板を前記支持手段上に載置し、
前記基板の裏面側から前記ブレイクバーを押圧してブレイクする脆性材料基板のブレイク方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
3C069AA02
, 3C069CA03
, 3C069CB01
, 3C069EA05
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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