欠陥検出装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-074783
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205234
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：

【課題】基板上の配線の欠陥を適切に検出する。【解決手段】赤外線カメラ4を、マザー基板1が載置されるアライメントステージ11を跨ぐように配置されたガントリー12の梁部12cに、アライメントステージ11上に載置されるマザー基板1の基板面に垂直な方向についての上記基板面に対する相対位置が一定になるように取り付ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に形成された配線の欠陥を検出する欠陥検出装置であって、上記基板が載置されるステージと、上記基板における検査対象配線に電圧を印加する電圧印加部と、上記ステージを跨ぐように配置されたガントリーと、上記ガントリーにおける上記ステージ上に載置される基板の基板面に対向する位置に配置され、上記電圧印加部によって電圧が印加された上記検査対象配線を撮像する赤外線カメラとを備え、上記ガントリーは、上記ステージ上に載置される基板の基板面に平行な方向であるX方向に平行移動可能であり上記赤外線カメラは、上記ステージ上に載置される基板の基板面に垂直な方向であるZ方向についての上記基板面に対する相対位置が一定になるように上記ガントリーに取り付けられていることを特徴とする欠陥検出装置。

IPC (5件)：

G01N 25/72 , G01N 21/956 , G01N 27/20 , G01B 11/00 , G01R 31/02

FI (5件)：

G01N25/72 G , G01N21/956 Z , G01N27/20 Z , G01B11/00 H , G01R31/02

Fターム (40件)：

2F065AA03 , 2F065AA18 , 2F065AA20 , 2F065BB02 , 2F065CC01 , 2F065EE05 , 2F065FF04 , 2F065GG09 , 2F065JJ00 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065MM07 , 2F065PP11 , 2F065QQ24 , 2F065QQ28 , 2F065QQ31 , 2G014AA03 , 2G014AB21 , 2G014AB59 , 2G014AC09 , 2G040AA05 , 2G040AB08 , 2G040BA27 , 2G040BB03 , 2G040CA02 , 2G040CA12 , 2G040CA23 , 2G040DA06 , 2G040DA12 , 2G040DA24 , 2G051AA73 , 2G051AB20 , 2G051CA03 , 2G051CA20 , 2G060AA09 , 2G060AE01 , 2G060AF07 , 2G060EA07 , 2G060EB07 , 2G060KA15

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭57-005471
電気特性検査用検査器具
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-061511 出願人：株式会社アドバンスト・ディスプレイ
配線パターン検査方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-145298 出願人：オプトレックス株式会社, 広島オプト株式会社

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